판매용 중고 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293643500

YOKOGAWA Rainbow 4720 (YOKOGAWA Rainbow 4720) 은 고급 프로세스를 위해 유연하고 다재다능한 드라이 에처/애셔로, 차세대 반도체 장치의 제작에서 더 높은 처리량과 생산량을 달성합니다. 이 고성능 에처/애셔 장비의 최대 에칭/애쉬 면적은 12.7cm, 최대 기판 크기는 8 인치입니다. 매우 저렴한 유지 관리 기능을 통해 보다 효율적이고 경제적인 에칭 (eching) 작업을 수행할 수 있습니다. Rainbow 4720은 Si, GaAs, SiC 및 SiGe와 같은 광범위한 재료에 대한 응용 프로그램을 제공하는 플라즈마 에처/애셔입니다. 또한 저온 연대기 및 빠른 하이브리드 결합과 같은 높은 처리량 프로세스를 허용합니다. 고속 이산화탄소 (CO2) 가스 흐름을 통해 YOKOGAWA 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 은 높은 에칭 속도를 제공하여 매우 짧은 시간에 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 은 한정된 챔버 영역에서도 기판 전체에 걸쳐 높은 수준의 프로세스 균일성을 달성 할 수 있습니다. 또한 가스 흐름, RF 전원, 고해상도 에칭 작업을 달성하기 위한 작동 압력 (working pressure) 과 같은 에칭 매개변수에 대한 가변 제어 기능도 제공합니다. 또한, YOKOGAWA Rainbow 4720은 추적 가능한 에칭 기록과 반복 가능한 프로세스 결과를 가지고 있어 높은 수준의 프로세스 제어 및 재생성을 제공합니다. Rainbow 4720은 프로세스 제어 및 추적을 위한 정교한 고급 데이터베이스 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 따라서 병렬 처리를 효율적으로 수행하고 프로세스 내 데이터를 신속하게 모니터링할 수 있습니다. 모든 데이터는 단일 사용자 인터페이스에서 볼 수 있으며, 안전한 환경에서 다른 사용자와 쉽게 데이터를 공유할 수 있습니다 (영문). 에처/애셔 (etcher/asher) 는 가스 누출, 가스 흐름, 압력 오류 등의 경우 자동 셧다운과 같은 사고를 방지하기 위해 여러 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한, YOKOGAWA Rainbow 4720의 내부 장치는 프로세스 매개 변수가 중요한 수준에 도달하면 경고를 보낼 수 있습니다. 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 은 최신 프로세스 요구사항으로 손쉽게 업그레이드할 수 있는 고급, 신뢰성 있는 etcher/asher 머신입니다. 이 제품은 고성능 반도체 (HPD) 디바이스의 제작을 용이하게 하기 위해 최첨단 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 특별히 고안된 것입니다. 공정의 균일성과 유연성이 높아 반도체 (반도체) 업계의 응용에 이상적인 솔루션이다.