판매용 중고 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293642899

YOKOGAWA Rainbow 4720
ID: 293642899
웨이퍼 크기: 8:"
Dry etcher, 8".
YOKOGAWA Rainbow 4720은 Asher 유형 프로세스 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 실리콘 및 유리와 같은 기판에 얇은 층의 균일 한 에칭 및 증착을 제공 할 수있다. Rainbow 4720 의 설계에는 프로세스 제어를 용이하게 하기 위한 다양한 구성 요소뿐만 아니라, 프로세스 챔버 (process chamber) 가 내장되어 있습니다. 여기에는 최대 30 ° 기울기 각도를 에칭하는 정밀 위치 잠금 (precision position-lock), 프로세스 각도를 쉽게 조정하는 이중 각도 리프트 메커니즘, 정확한 온도 제어를 위한 내장 온도 센서가 포함됩니다. 에칭 및 증착 과정은 열 증발 (thermal evaporation) 을 기반으로하며, 기판의 에칭/증착 요건에 따라 도가니 온도와 플라즈마 출력을 조정하여 미세 조정 할 수 있습니다. 이 과정은 큰 표면 (예: 웨이퍼) 이나 기판의 작은 영역에 적용되어 미세 구조를 만들 수 있습니다. YOKOGAWA Rainbow 4720에는 간편한 운영 및 데이터 관리를 지원하는 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스도 포함되어 있습니다. Rainbow 4720 챔버에는 저소음 진공 프리 펌프 (pre-pump) 와 뛰어난 프로세스 제어를 위한 추가 구성 요소가 장착되어 있습니다. 여기에는 에칭 중에 발생하는 소음을 줄이기 위한 소음 억제 시스템 (noise suppression system) 과 챔버 및 기판에 물/가스 흐름을 제어하기위한 내장형 물/가스 흐름 조절기 (water/gas flow regulator) 가 포함됩니다. 에처/애셔에는 다양한 프로세스 프로파일을 생성할 수 있도록 다양한 옵션 부품 (예: 기판 난방 장치 (Substrate Heating Unit)) 이 제공됩니다. 요코가와 레인보우 4720 (YOKOGAWA Rainbow 4720) 은 고품질의 결과와 함께 재현 가능한 프로세스를 가능하게 하여, 정확성과 반복성이 필요한 까다로운 에칭/증착 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 편리한 작동 및 유지 보수를 위해 가벼운 무게와 작은 발 프린트로 설계되었습니다. 첨단 기술, 내장 안전 측정 및 사용자 친화적 인 소프트웨어를 갖춘 Rainbow 4720 (Rainbow 4720) 은 실험실과 생산 프로세스 모두에서 탁월한 에칭/증착 시스템입니다.
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