판매용 중고 YOKOGAWA Rainbow 4500 #9111384

YOKOGAWA Rainbow 4500
ID: 9111384
Dry etchers.
YOKOGAWA Rainbow 4500은 광범위한 생산 요구를 수용하도록 설계된 첨단 에처/애셔입니다. 첨단 기능, 다양한 소재 (materials) 와의 호환성을 갖춘, 성장하는 모든 비즈니스에 적합한 솔루션입니다. 레인보우 4500 (Rainbow 4500) 은 레이저 처리 및 플라즈마 에칭의 힘을 결합하여 고정밀 결과를 얻는 하이브리드 시스템입니다. 정교한 듀얼 빔 (Dual-Beam) 기술을 통해, 종횡비, 처리량, 비용 등에 대한 다양한 고객 요구 사항을 충족하면서, 균일성과 정확도가 높은 재료를 처리할 수 있습니다. 이 장치는 모듈식 (modular) 설계를 통해 광범위한 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다. 2 개의 챔버 (chamber) 크기를 선택하여 크기와 모양의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 다른 프로세스 매개변수를 지원하고 처리량을 높일 수있는 레이저 헤드 스와핑 (laser head swapping) 이 특징입니다. YOKOGAWA Rainbow 4500에는 에치 레시피를 처리 및 최적화하는 지능형 소프트웨어도 있습니다. 이 소프트웨어는 레시피 매개변수를 필요에 따라 저장하고 조정하는 데 사용되므로, 각 작업이 필요한 대로 실행됩니다. 또한, 외부 제어 시스템 (external control systems) 과 상호 작용할 수 있으므로 고급 자동화가 필요한 애플리케이션에 적합합니다. 마지막으로, Rainbow 4500에는 고급 입자 제어 (advanced particle control) 방법이 장착되어 있어 처리 중에 생성 된 입자 수를 줄일 수 있습니다. 이 방법 은 입자 의 존재 를 줄이는 데 도움 이 되는 특수 "필터 '모듈 을 사용 하여" 에칭' 결과 와 최소 의 "잔기 '를 더 좋게 한다. YOKOGAWA Rainbow 4500은 탁월한 성능을 제공하고 사용하기 쉬운 차세대 etcher/asher입니다. 에칭 (Etching) 에서 애싱 (Ashing) 에 이르기까지 다양한 산업 응용 프로그램을 처리하는 완벽한 도구이며, 고급 기능으로 인해 모든 생산 환경에 이상적인 선택이 됩니다.
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