판매용 중고 YES / GLEN R3 #9124011

YES/GLEN R3은 실리콘, 알루미늄, 아연, 금 및 백금을 포함한 다양한 재료를 에치/재로 만들도록 설계된 에처/애셔 장비입니다. 선형 모션 X-Y 스테이지가 장착되어 있어 에치/애쉬 깊이 및 에치/애쉬 (etch/ash) 영역 너비를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 조정 가능한 진공 압력 및 배기 시스템이있는 진공 펌프 (vacuum pump) 는 에칭/애싱 공정을 돕기 위해 포함됩니다. YES R 3에는 3 단계 캐스케이드 선반 스트립 (shelving strip) 구성이 포함되어 있어 여러 재료를 한 번에 에칭/회수할 수 있습니다. 이 장치는 매우 효율적이며 비용 효율적입니다. 또한 낮은 에칭/애싱 (etching/ashing) 깊이에서 다른 두께의 기판을 균일하게 처리하여 우수한 성능을 제공합니다. GLEN R-3은 R 3에 높은 처리량을 제공하는 특정 재료에 따라 30 초에서 4 분 사이의 에치/애쉬 시간을 제공 할 수 있습니다. 기계는 습식 및 건식 에치/애쉬 모드를 모두 실행하도록 설계되었습니다. 습식 에치/애쉬 기술 (wet etch/ash technology) 은 건식 에칭 방법으로 에치/애쉬가 어려운 물질의 에칭/애싱을 가능하게한다. YES/GLEN R-3은 매우 자동화되었습니다. 유연한 제어 도구와 사용자 친화적 인 소프트웨어로 프로그래밍됩니다. 제어 자산은 프로세스 정보를 원활하고 효율적으로 전송할 수 있도록 설계되었습니다. 사용자에게 친숙한 소프트웨어는 etch/ash 레시피를 저장하고 모델을 자동 모니터링하도록 설계되었습니다. YES R-3에는 고온 석영 공정 챔버가 장착되어 있으며, 1100 ~ 1500 ° C의 온도가있는 재료를 에치/애쉬 할 수 있습니다. 고온 챔버 (high temperate chamber) 는 부식 저항을 강화시키는 물질 표면에 산화물 층 (oxide layer) 의 형성을 허용한다. 예 R3도 안정성이 높고 내구성이 뛰어납니다. 이 장비에는 수동 차단, 비상 정지 (Emergency Stop) 와 같은 보호 기능이 장착되어 있어 안전하고 안전한 작동이 가능합니다. 예기치 않은 전력 손실의 경우, UPS (UPS) 를 시스템에 연결하여 재료를 손상시킬 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 과열 및 과압 (over-temper and over-pressure) 의 경우 공급 전력을 차단하여 안전한 작동을 제공하는 센서가 장착되어 있습니다. 예/글렌 R 3 (YES/GLEN R 3) 은 정확도와 처리량이 높은 광범위한 재료를 에치/애쉬 (ech/ashing) 하는 효율적이고 안정적인 솔루션입니다. 다수 재료 (Multiple Materials) 와의 호환성, 신뢰성 있는 성능 측면에서 유연성은 다양한 에칭/애싱 (Etching/Ashing) 어플리케이션에 이상적인 기계입니다.