판매용 중고 YES / GLEN R1 #9172427

제조사
YES / GLEN
모델
R1
ID: 9172427
Plasma cleaner.
YES/GLEN R1은 전자 및 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 에처 또는 애셔입니다. 한 번에 많은 층의 유기 및 무기 물질을 모두 에치하기 위해 반응성 이온 (reactive ion) 을 사용하는 완전 자동화 식각 장비입니다. 이 시스템의 핵심은 이온화 된 가스, 증착 장치 및 CCD 카메라 기반 이미징 머신을 사용하는 독점 교육자 노즐입니다. 교육자 노즐에는 플라즈마 필드를 만드는 현장 방출 소스가 포함되어 있습니다. 이 분야의 핵심에는 비활성 가스 (inert gase) 와 산소 (oxygen) 또는 플루오린 (fluorine) 과 같은 반응성 가스로 구성된 반응성 가스가 있습니다. 교육자 "노즐 '은" 노즐' 에서 "플라즈마 '장 을 가속 시키고 기판 과 상호 작용 하는" 이온' 의 "제트 '를 만든다. 이 "이온 '들 은 물질 속 으로 식각 되어 분자 수준 에서 제거 한다. 공구의 두 번째 컴포넌트는 증착 에셋 (deposition asset) 으로, 기판 위에 금속, 플라스틱, 세라믹과 같은 재료 레이어를 추가 할 수 있습니다. 증착 모델은 열 증발 및 화학 증발 증착 (chemical vapor deposition) 을 사용하여 원하는 재료의 코팅을 추가합니다. 이러한 프로세스는 에칭 프로세스와 결합하여 기판의 다중 레벨 처리를 완료합니다. 마지막으로, 이미징 장비는 에칭 및 증착 프로세스에 대한 실시간 시각적 피드백을 제공합니다. 이것은 CCD 카메라를 통해 이루어집니다. CCD 카메라는 공정 이미지를 여러 각도에서 제공하고, 에칭된 레이어를 표시합니다. 이 실시간 모니터링은 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스의 정확성을 보장하며 시스템을 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 전반적으로 YES R 1 etcher/asher는 전자 및 반도체 산업을위한 효율적이고 혁신적인 도구입니다. 정밀도 및 정확도로 다중 레벨 에칭 및 증착 프로세스를 생성하는 데 사용할 수 있습니다.
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