판매용 중고 YES / GLEN R1 #9049956

YES/GLEN R1은 반도체 제조 공정 전에 웨이퍼 준비를 위해 설계된 고급 에칭 및 화학 애싱 장비입니다. YES 테크놀로지 (YES Technology) 에 의해 개발되었으며 단일 시스템에서 드라이 에치 (dry-etch) 및 화학적 애싱 프로세스를 모두 수행 할 수있는 기능이 있습니다. 이 장치에는 건식 에치 공정에 대한 RIE (reactive-ion etcher) 와 화학 재싱을위한 유도 결합 플라즈마 (ICP) 가 포함되어 있습니다. 모든 공정 은 불활성 "가스 '환경 에서 매우 다양 한" 가스' 를 사용 하여 수행 할 수 있다. 기계는 공구의 안전한 작동을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능 (예: 과압 보호, 이온 빔 전류 제한) 을 갖추고 있습니다. YES R 1은 고급 자동화 및 소프트웨어 기능을 결합하여 반복 가능한 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. 제어, 데이터 수집, 프로세스 최적화를 위한 개방형 아키텍처 컴퓨터 인터페이스가 있습니다. 에셋은 또한 최대 9500 ° C (17,000 ° F) 의 온도를 달성 할 수있는 저항 가열 요소를 사용하여 열 재싱 (thermal ashing) 을 할 수 있습니다. 글렌 R-1 (GLEN R-1) 은 가공하기 전에 샘플을 기판에 정확하게 정렬하기 위해 전계 방출 스캐닝 전자 현미경을 장착한다. 또한 샘플 처리를 용이하게하기 위해 로봇 샘플 로더를 통합합니다. 이 모델에는 장비가 안정적이고 안전하게 작동하도록 다양한 진단, 모니터링, 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 보안 데이터베이스에 레시피 (recipe) 정보를 저장, 추적하여 일관된 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. R 1은 매우 유연하며, 다양한 반도체 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 적합합니다. 첨단 자동 (automated) 기능과 고급 안전 (advanced safety), 제어 (control) 의 조합으로 고급 반도체 생산 프로세스에 이상적으로 적합합니다.