판매용 중고 YES CV 100P #9197487

제조사
YES
모델
CV 100P
ID: 9197487
Plasma asher.
YES CV 100P는 YES Robotics Corporation이 개발 한 고정밀 애셔/에처입니다. 정밀 에칭 (precision etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행하도록 설계된 고급, 완전 프로그래밍 가능한 장비로, 최대 출력 품질과 정확성을 보장합니다. CV 100P 는 깨끗한 환경을 보장하기 위해 통합 냉각 시스템, 공기 제거 장치 (air purging unit) 를 갖추고 있습니다. 또한 고급 CCU (Carousel Control Unit) 는 사용자가 쉽고 직관적인 프로그래밍 및 제어를 제공합니다. YES CV 100P에는 PLC 머신과 통합 asher/etcher 챔버가 장착되어 있어 정확한 온도 및 압력/진공 제어 프로세스가 가능합니다. 고급 PLC 도구 (advanced PLC tool) 및 챔버 (chamber) 구성은 모든 매개변수가 최적의 애싱/에칭에 적합한 범위 내에 유지되도록 합니다. PLC 자산을 통해 온도 및 압력/진공 수준을 쉽게 조정하고 모니터링 할 수 있습니다. CV 100P는 고품질 Carousel Nozzle Model (CNS) 을 사용하여 웨이퍼에 재료를 적용합니다. 노즐 장비 (nozzle equipment) 는 가공소재 전체의 재료 증착과 정확하고 일관된 배치를 보장하도록 설계되었습니다. CNS는 또한 자체 청소 및 자체 교정 옵션과 웨이퍼에 대한 레이저 트리밍 및 균일 테스트 옵션을 제공합니다. In-situ fume 관리는 YES CV 100P의 주요 기능 중 하나입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 공정 가스의 흐름을 개인화 할 수있는 고급 통풍구 패널이 장착되어 있습니다. 벤트 (Vent) 패널을 사용하여 사용자는 챔버에서 소진되는 공정 가스 (Process Gas) 의 양을 제어할 수 있으며, 공정 중에 생성되는 연기를 최소화합니다. 또한, 통풍구 패널에는 통풍구 패널이 안전하게 닫힐 수 있는 자가 래칭 (self-latching) 기능이 있습니다. 결과의 처리량과 안정성을 극대화하기 위해 CV 100P 에는 여러 가지 추가 기능도 포함되어 있습니다. 여러 개의 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 처리할 수 있어, 볼륨 처리량이 많은 사용자에게 이상적인 선택입니다. 고급 머신 비전 (Advanced Machine Vision) 시스템은 에칭/애싱 품질 측면에서 정확한 결과를 제공합니다. 또한 YES CV 100P에는 웨이퍼 최적화 모드 (Wafer Optimization Mode) 가 포함되어 있어 결과를 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있도록 에칭 및 애싱 매개변수를 조정할 수 있습니다. CV 100P는 고급 etcher/asher 장치이며 우수한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 직관적인 프로그래밍 머신 (Programming Machine) 을 비롯하여 다양한 추가 기능을 통해 최고의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 또한 고급 벤트 패널과 Wafer Optimization Mode (Wafer 최적화 모드) 를 사용하여 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다.
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