판매용 중고 XACTIX E1 Mod #9174878
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ID: 9174878
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2004
XeF2 (xenon difluoride) Isotropic silicon etcher
Photo-resist
Silicon dioxide
Silicon nitride
Aluminum
2004 vintage.
XACTIX E1 Mod는 전자, 광학 및 MEMS 장치의 제작과 같은 실험실 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 2.5 "x 2.5" 쿼츠 에칭 챔버를 갖춘 스테인레스 스틸 플랫폼으로, 사용자에게 친숙한 비용 효율적인 패키지에서 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. E1 Mod는 숙련된 어플리케이션과 초보자 어플리케이션에서 뛰어난 견고성, 정확성, 내구성을 제공하도록 제작되었습니다. XACTIX E1 Mod는 상단 재료 (top-of-line materials) 로 구성되어 기판, 비전도 표면, 오래 실행되는 프로세스 및 최대 500 ° C의 가열 성능에 대한 손상 또는 접착에 강한 에칭 쿼츠 표면을 갖추고 있습니다. 또한 고출력 RF 발전기를 사용하여 기존의 열 에칭에 비해 더 높은 에칭 수율과 더 나은 에칭 품질을 제공합니다. E1 Mod는 터치 인터페이스, 직관적인 명령 구조, 두 자리 수 압력/온도 디스플레이를 갖춘 사용 편의성과 안정성을 위해 설계되었습니다. 또한 프로세스 재생성을 향상시키고 플라즈마 매개변수의 빠른 주파수 미세 튜닝을 위해 상단 RF 연결이 특징입니다. 마지막으로, XACTIX E1 Mod에는 외부 시스템 및 장치에 연결하기 위해 전체 주변 장치 센터가 장착되어 있으므로 기존 실험실 설정에 원활하게 통합할 수 있습니다. 무엇보다도, E1 Mod는 신뢰할 수 있고, 비용 효율적이며, 견고한 플랫폼으로, 경험 있는 사람과 초보자 모두에게 적합합니다. 최고의 재료, 뛰어난 정밀도 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 XACTIX E1 Mod는 다양한 실험실 에칭/다이킹/연마/청소 프로세스에 완벽한 솔루션입니다.
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