판매용 중고 VEECO Microetch #9255813

VEECO Microetch는 규소 이산화물 (SiO2), 금속, 유리 및 유기 중합체를 포함한 다양한 물질의 고정밀 에칭을 위해 설계된 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 기계는 많은 응용 프로그램에 대한 정확한 미세 구조 및 미세 패턴 에칭에 이상적입니다. 기존의 습식 식각 (wet etching) 에 비해 수심 정확성과 반복성이 뛰어난 최신 마이크로 에칭 기술이 특징입니다. 완전 히 최적화 된 가열 과 전류 가 가열 되기 쉬운 과정 을 통해, "마이크로에치 '기계 는 모든 물질 의" 에칭' 을 최대한 제어 할 수 있게 해 주며, 더욱 신빙성 있고 정밀 한 석판 에칭 과정 을 수행 할 수 있게 해 준다. VEECO 마이크로 에치 (VEECO Microetch) 기계의 디자인은 가스를 끌어들이고 에칭 공정의 가스 결과를 펌핑하는 2 개의 진공 펌프가있는 밀봉 처리 챔버로 구성됩니다. 컴퓨터 제어 인 X-Y 단계는 에칭/애싱 (etching/ashing) 과정이 발생하는 전극 사이에서 마스크를 이동합니다. 챔버 (chamber) 는 실온에서 -60 ° C의 온도까지 온도에서 작동하도록 설정 될 수 있습니다. 처리 중 청결을 유지하고 웨이퍼 표면의 오염을 방지하기 위해 이온 샤워 (ion shower) 도 있습니다. "마이크로에치 '기계 의 더 깊은 깊이 의 정확도 는 재료 의 증착 을 조절 함 으로써 달성 된다. 이것은 조정 가능하고 프로그래밍 가능한 RF 전원 설정 및 조절 가능한 이온 샤워 강도를 사용하여 조절됩니다. 에칭 할 때, 드리프트 없는 전극은 또한 에칭 된 영역의 깊이를 제한하는 데 사용된다. 정밀 제어에는 전류 측정 (current measuring) 을 사용한 빔 모니터링 (beam monitoring) 과 프로세스의 전체 속도를 제어하는 이동 속도 선택기 (movement speed selector) 도 포함됩니다. 이 기계는 또한 펄스 지속 시간 (pulse duration) 및 빔 번호 (beam number) 와 같은 다양한 사용자 정의 가능한 매개변수를 특징으로합니다. VEECO Microetch 기계는 고급 전자 재료의 초정밀 에칭을 생산하기위한 신뢰할 수있는 도구입니다. 이산화규소, 금속, 유리, 유기 중합체 등 다양한 물질에서 작업하는 데 매우 정확하고, 효율적이며, 최적화되었습니다. 이 기계는 사용자가 응용 프로그램의 프로세스를 제어하고 사용자 정의할 수 있도록 조정 가능한 매개변수 (adjustable parameter) 로 설계되었습니다. "에칭 '결과 는 매우 반복 하기 쉽고" 이온 샤워' 를 사용 하면 "에칭 '과정 은 오염 되지 않는다. 마이크로 에치 머신 (Microetch machine) 은 고급, 정교함, 미세 구조 및 완벽하게 에칭 된 표면을 만드는 데 필수적인 도구입니다.