판매용 중고 VEECO Microetch #9183385
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판매
ID: 9183385
빈티지: 1989
Ion beam etcher
MICROTECH Controls
Automatic beam controller
LAMBDA Neutralizer
UNIVERSAL VOLTRONICS Accelerators
UNIVERSAL VOLTRONICS Suppressors
Process gases: Ar, Ar/O2
Gun, 6"
Includes:
RG1000 Ionization gauge
AVC 1000 Automatic valve controller
APC 2000 Automatic pressure controller
LEYBOLD Vacuum
TURBOTRONIK NT 20
1989 vintage.
VEECO 마이크로 에치 (VEECO Microetch) 는 다양한 산업에서 사용되는 재료에 대한 정밀 에칭, 청소 및 재시를 제공하는 에칭 및 애싱 머신입니다. 리서치 및 프로덕션 응용 모두를 위해 설계되었으며, 완전 밀폐 된 챔버 (chamber) 를 갖추고 있으며, 반복 가능하고 균일 한 에칭 및 애싱 작업이 가능합니다. 모든 구성 요소는 우수한 열 제어를 위해 내구성 알루미늄 구조로 수용되며, 내부 챔버 (internal chamber) 는 습식 및 건식 에칭/애싱 공정 모두에 대해 구성 될 수 있습니다. 마이크로에치 (Microetch) 는 정확한 에칭 및 애싱 사이클을 가능하게하는 고출력, 디지털 제어 전원으로 구동됩니다. 디지털 프로세스 컨트롤러 및 PLC (Programmable Logic Controller) 는 정확도, 반복 가능성 및 주기 시간을 정확하게 제어합니다. 또한 통합 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 에칭/어싱 프로세스 최적화를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. VEECO 마이크로 에치 (VEECO Microetch) 는 단일 공정에서 최대 3 개의 기판을 정확하게 에칭/애싱 할 수있는 자동 리프트 메커니즘을 갖춘 반응 용기를 특징으로합니다. ProClean Gas Management System은 에칭/애싱 중 산화를 최소화하기 위해 정확한 양의 비활성 가스를 제공합니다. 또한, 기계의 기능을 더욱 사용자 정의하기 위해 다양한 선택적 액세서리를 사용할 수 있습니다. Microetch 의 특징과 기능은 경제적이고 고성능 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 위한 탁월한 선택입니다. 정밀 프로세스 제어는 연구 응용에 이상적이며, 자동 리프트 메커니즘 (lift mechanism) 과 선택적 액세서리 (accessory) 는 생산 프로세스에 적합합니다. 내구성이 있고 정확한 가스 관리 시스템 (Gas Management System) 은 매 주기마다 반복 가능하고 균일 한 결과를 낼 수 있습니다. 마지막으로, 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 와 프로그래머블 로직 컨트롤러 (programmable logic controller) 를 사용하면 모든 에칭/어싱 프로세스에 쉽게 사용하고 구성할 수 있습니다.
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