판매용 중고 VEECO Microetch RF 350 #9244343

VEECO Microetch RF 350은 다양한 재료의 고해상도 플라즈마 에칭 및 재싱을 제공하는 플라즈마 에처/애셔입니다. 독점적 인 13.56 MHz 주파수를 사용하여이 etcher/asher는 에칭/애싱 프로세스를위한 뛰어난 속도, 균일성 및 선택성을 제공합니다. 또한, 표준 소형 척 (chuck) 을 갖춘 기계식 웨이퍼 처리 장비가 있으며, 다양한 챔버 구성에 적합하여 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 정밀도 에치 패턴으로 고품질 표면을 생성하는 데 사용되는 무선 주파수 플라즈마 에칭 및 애싱 프로세스를 사용합니다. 고출력 무선 주파수 (RF) 에치 전원은 뛰어난 재현성을 제공하여 고품질 및 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 정확한 플럼 제어는 프로세스 시간을 줄이는 한편, 정확한 에치 레이트를 제공하는 데 도움이됩니다. 또한, 에처/애셔 (etcher/asher) 는 프로세스 최적화 및 결함 자유 에칭을 위해 자동 기판 청소 및 가변 압력 시스템을 갖추고 있습니다. 안전 측면에서 마이크로 에치 RF 350 (Microetch RF 350) 은 배기 포트 및 펌프 보호 (Pump Protection) 와 함께 연동 장치를 갖추고 있으며, 에칭 프로세스가 플라스마 유발 손상으로 보호되는지 확인합니다. 게다가, 고급 압력 (Advanced Pressure) 과 온도 조절 (Temperature Control) 을 통해 사용자는 원하는 안전 기준을 충족할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 또한 추가 수준의 안전을위한 누출 탐지기 (leak detector) 를 포함하고 염소 함유 가스의 누출과 같은 잠재적 인 유해 물질을 식별합니다. 사용자 편의를 극대화하기 위해 VEECO Microetch RF 350에는 프로그래밍 가능한 설정이 있는 직관적인 사용자 인터페이스 패널이 포함되어 있습니다. 또한 etcher/asher 는 고급 데이터 로깅 기능을 제공하여 etch 매개변수, 레시피, etch 수율 등을 손쉽게 저장, 분석할 수 있습니다. 또한, 원격 서비스 연결 (remote service connection) 을 통해 운영자는 시스템의 모든 문제를 빠르고 쉽게 해결할 수 있습니다. 전반적으로 Microetch RF 350은 다양한 유형의 재료를 에칭 또는 재시하는 데 이상적인 etcher/asher입니다. 높은 전력, 선택성, 속도, 균일성을 통해 최소한의 노력으로 고품질 에치 (etch) 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 고급 안전 (Safety) 및 사용자 친화적 (User Friendly) 기능으로 인해 산업 및 연구 응용 프로그램 모두에 완벽한 선택이 가능합니다.