판매용 중고 VEECO Microetch LL250 #59880
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ID: 59880
Automatic loadlock ion mill, 4"
Optical / Fiber optic system for endpoint detection
Square substrates:
Can be modified to accept 4" round substrates
System used to mill:
Platinum
Titanium
Nickel
Copper
Nichrome thin film metals
Anisotropic etching includes:
Au, Cu, Ni, Cr, and TiW
Multistep etch processes for stacked layers (MLC, MCM):
Ceramics
Hybrids
Thin film heads
Flat panel displays
High frequency devices
Process flexibility with IBE, RIBE, CAIBE, flowcool substrate cooling
Rotation and tilting options configured
Pumping system includes:
Mechanical pump and turbo pump for main chamber
Mechanical pump and turbo pump for load lock / Transfer chamber
Spare parts:
Magnetic sensor
Shutter gear assembly
Shutter worm gear
Molly screws for source
Tungsten source wire
Tungsten neutralizer wire
Assorted insulators
Assorted O-rings
Fixturing plates, 4"
PC:
Comark
Model: 4000 Series
INTEL 486i
1994 vintage.
VEECO LL 250은 나노 구조 제조에 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 고품질 나노 구조 표면, 특히 전자 및 옵토 전자 산업 (opto-electronics industries) 의 응용 분야에 적합한 도구입니다. 이 시스템은 초점 이온 빔 (focused ion beam) 에 의존하여 표면 품질이 우수하며 인체 공학 디자인의 고급 ablation 챔버가 특징입니다. VEECO Microetch LL250은 밀링 매개변수를 사용자 정의할 수있는 필드 프로그래밍 가능한 단위입니다. 광범위한 빔 에너지, 펄스 길이 및 가스 압력이 특징입니다. 모든 범위의 빔 전압 (beam voltage) 을 다른 기판 및 재료에 대한 재단사 밀링 기능으로 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 이온 빔 진단 및 시스템 모니터링 (이온 빔 전류 및 에너지 제어 포함) 을 제공합니다. LL 250은 광범위한 빔 (전자) 에너지를 허용하는 쿼드 풀 기반 이온 빔 열을 특징으로합니다. 이렇게 하면 밀링 프로파일을 보다 유연하고 사용자 정의할 수 있습니다. 에너지 및 펄스 길이의 유연성은 Microetch LL250을 MEMS, 바이오-미세 유체, 광학 부품과 같은 다양한 이온 에칭 단계에 적합하게 만듭니다. 또한, VEECO LL 250에는 기판의 정밀 정렬 및 방향을 허용하는 고해상도 이미징 단계가 있습니다. 이는 Wafer 크기 전반에 걸쳐 일관된 프로세스를 보장하기 위해 반드시 필요합니다. 이미지 캡처 및 드리프트 보정 패턴은 또한 개발 비용 절감, 사이클 시간 개선 등을 제공합니다. VEECO Microetch LL250은 또한 고르지 않은 빔 에너지 또는 간격으로 인해 발생할 수있는 비 균일 또는 왜곡 된 이온 프로파일을 최소화하는 동적 빔 쉐이핑 (dynamic beam shaping) 기능을 제공합니다. 이 동적 빔 (dynamic beam) 형상은 다양한 기판 및 재료에 대한 최고 품질의 에칭 및 프로세스를 보장합니다. LL 250은 또한 작동 중 소음 수준이 매우 낮습니다. 이것은 Cleanroom 작업과 민감한 전자 부품이 있는 장치에 사용됩니다. 또한 노이즈 수준을 더 낮출 수있는 액세서리 옵션도 포함되어 있습니다. 전반적으로 Microetch LL250 (Microetch LL250) 은 다재다능하고 고성능 이온 밀링 툴로, 훌륭한 표면 마감으로 나노 구조를 달성하기에 적합합니다. 광범위한 기능, 기능, 성능으로 인해 전자, 옵토 전자 및 MEMS 산업에서 나노 구조 표면의 생산에 이상적입니다.
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