판매용 중고 VEECO Microetch LL250 #120499
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ID: 120499
Automatic loadlock ion mill
Anisotropic, materials including: Au, Du, Ni, Cr, and TiW
Includes:
Ion gun
Vacuum robot
Vacuum cassette
Main Process Modules :
Sub-Process Module : Automatic Loadlock
Brooks Robot & Controller
Ion Beam Power Supply
Turbo Pump : Leybold NT20 Controller & Turbo Pump
Lebold Inficon IG3 Vacuum Measurement.
VEECO LL 250은 시장에서 가장 발전된 이온 밀링 시스템 중 하나입니다. 리토 그래피 (lithography) 와 밀링 (milling) 의 힘을 결합하여 복잡한 구조의 상세한 머시닝을 가능하게합니다. 이 시스템은 고압 이온 빔 (ion beam) 을 사용하여 표본 표면에서 정밀하고 제어 된 방식으로 물질을 제거함으로써 작동합니다. 결과 패턴은 매우 높은 수준의 정확도로 마이크로 스케일 (micro scale) 및 나노 스케일 (nano-scale) 컴포넌트를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. VEECO Microetch LL250은 저에너지 재료 재 보존을 위해 초고 진공 챔버를 사용하여 이온 스퍼터 깊이, 스퍼터 온도, 대상-음극 거리 등의 매우 다양한 밀링 매개변수를 허용합니다. 고급 빔 제어 서브 시스템 (Advanced Beam Control Subsystem) 은 이온 빔이 매우 안정적으로 유지되므로 매우 정확한 에치 패턴을 허용합니다. 이것은 가장 복잡한 구조조차도 LL 250으로 달성 할 수 있습니다. 마이크로 에치 LL250 (Microetch LL250) 은 폴리머 기반 기질 홀더를 사용하여 민감한 물질에 이상적인 저에너지 기질 처리 및 표면 준비를 제공합니다. 또한 표본을 쉽게 적재 할 수있는 망원경 건 캐리지 (telescoping gun carriage) 와 먼지가없는 환경을위한 접을 수있는 후드 (hoood) 가 장착되어 있습니다. 또한 VEECO LL 250에는 자동 기판 로드 및 언로드 시스템, 사용하기 쉬운 컴퓨터 인터페이스, 다중 이온 밀링 팁 (예: 정밀도 향상, 유연성 향상) 과 같은 향상된 액세서리가 여러 개 있습니다. 간단히 말해서, VEECO Microetch LL250은 높은 수준의 정확성과 디테일을 가진 매우 복잡한 구조를 에칭 및 머시닝하는 데 이상적인 시스템입니다. 강력한 제어, 안정성, 다용도 조합으로 인해 모든 이온 밀링 (ion milling) 애플리케이션에 탁월한 선택이 가능합니다.
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