판매용 중고 VEECO / MICROETCH 1201 #9354607

VEECO/MICROETCH 1201은 다양한 고급 재료 공정을 위해 설계된 최첨단 에처 및 애셔 장비입니다. 독보적인 모듈식 설계를 통해 유연성 (Flexibility) 과 적응성 (Adaptability) 을 제공하여 광범위한 애플리케이션을 수행할 수 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 다양한 프로세스 온도 및 시간에 걸친 정밀성과 일관성을 갖춘 스트레스 프리 (stress free), 반복 가능 (repeatable) 및 신뢰성 높은 결과를 특징으로합니다. 유연한 애셔 (asher) 설계를 통해 노즐 위치 및 온도 범위가 변하여 최적의 에칭이 가능합니다. 또한 VEECO 1201의 향상된 옵티컬 시스템 (optical system) 을 통해 전체 웨이퍼에서 광학적으로 향상된 균일 한 처리를 수행할 수 있습니다. MICROETCH 1201은 또한 균일 한 에칭 및 애싱을위한 7 인치 회전 지원 지그를 갖춘 대형 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 3 차원 전극 기판을위한 확장 된 플랫폼을 가지고 있습니다. 최첨단 진공 펌프 (vacuum pump) 와 웨이퍼 처리를위한 수동 및 기계 전송 기능이 포함되어 있습니다. 화학적, 물리적 과정을 모두 지원할 수있는 1201은 실리콘, 석영, 예살린, 알루미늄 및 구리를 포함한 다양한 재료를 에치 및 애셔할 수 있습니다. 단일 레이어 (single layer) 및 다중 레이어 (multi-layer) 프로세스와 고온 또는 저온 프로세스 및 기타 고급 어플리케이션에 이상적입니다. 이 에칭/애쉬 장치는 민감한 기판을 처리 할 때 최적의 결과를 위해 큰 음압 작동 범위를 제공합니다. 또한 에치 깊이 (etch depth) 와 프로파일 (profile) 의 프로세스 모니터링 및 측정을위한 광학 현미경도 포함되어 있습니다. VEECO/MICROETCH 1201 (VEECO/MICROETCH 1201) 은 다양한 기판 및 재료를 에칭 및 부착 할 때 유연성을 위해 수성 및 유기 반응성 가스 전달 시스템을 제공합니다. 또한 PC 및 RS422 인터페이스 제어를 통해 매우 정확한 제어 및 모니터링을 제공합니다. 또한, VEECO 1201은 여러 오버플로 채널 및 보호 회로 (Protection Circuitry) 를 포함한 안전 기능을 구축하여 유해 물질 유출로 인한 잠재적 피해를 줄였습니다. MICROETCH 1201은 가장 까다로운 어플리케이션에 적합한 성능, 정확성, 유연성을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 반복 가능한 결과, 확장 된 기판 처리 기능, 엔지니어링 된 안전 기능으로, 이 기계는 단일/다중 레이어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 모두에 이상적인 도구입니다.