판매용 중고 VEECO / MICROETCH 1201 #293689971

VEECO/MICROETCH 1201 (VEECO/MICROETCH 1201) 은 다양한 기판을 에칭 및 세척하기위한 우수한 결과를 제공하기 위해 설계된 뛰어난 품질의 에처/애셔 장비입니다. 이 다재다능하고 신뢰할 수있는 시스템은 현장 압력 측정 장치를 갖춘 12 "x 12" 1 단계 RF 활성 가스 에치 챔버를 갖추고 있습니다. 최대 2.5 "두께의 모든 챔버에 적합하며 무선 주파수 (RF) 전원을 사용하여 빠른 에칭과 정확한 에치 속도를 제공합니다. 또한 정확한 챔버 온도 관리를 허용하는 고급 온도 조절 머신 (temperature control machine) 이 특징입니다. 이 도구에는 또한 다양한 액세서리 (accessory) 가 있으며, 이 액세서리는 고유한 에칭 요구 사항을 충족하는 데 더욱 다양합니다. 뛰어난 에칭 성능을 위해 고성능 RF 생성기 및 일치 네트워크가 제공됩니다. 기판 에칭을 깨끗하게 하기 위해 고성능, 다중 평면, 가벼운 차폐형 쿼츠 뷰 창을 구입할 수도 있습니다. 자동 데커머 에셋도 사용할 수 있으며, 이는 균일성이 필요한 큰 로트 에칭 응용 프로그램에 이상적입니다. 자동 데커머는 또한 하강 바이어스를 제거하여 향상된 에칭 반복 성을 제공합니다. VEECO 1201은 사용이 간편한 Windows 기반 소프트웨어 인터페이스를 통해 제어되며, 이 인터페이스는 높은 수준의 제어 기능을 제공하며 빠른 매개변수 변경을 허용합니다. 이 정교한 모델에는 전체 데이터 기록 및 스토리지 기능도 포함되어 있습니다. 이 장비는 반복적인 에칭 런을 위해 빠르게 리콜 할 수있는 최대 100 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. MICROETCH 1201 (MICROETCH 1201) 은 사용 가능한 가장 고급 에처/애셔 중 하나이며, 에칭 및 애싱에서 가장 정밀하고 일관성을 제공합니다. 업계· 연구· 의료분야의 응용분야에 적합한 선택으로, 정확하고 반복 가능한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 필요로 한다. 낮은 설치 공간 (low footprint design) 은 모든 실험실의 공간에 적합하며, 기존 실험실 환경에 쉽게 통합될 수 있습니다.