판매용 중고 VEECO / MICROETCH 1201 #293628795

ID: 293628795
Ion Beam Etcher (IBE).
VEECO/MICROETCH 1201은 etcher/asher이며, 고급 마이크로 일렉트로닉스 생산에 사용되는 특정 유형의 고급 장비입니다. 반도체 제작 및 첨단 미세 전자 공업 (advanced microelectronics industries) 에 일반적으로 사용되는 이 장치는 화학 공정과 물리적 공정의 조합을 사용하여 기질에서 원치 않는 물질 (예: 금속 및 폴리머 필름) 을 탈환합니다. 이 장치는 주로 집적 회로, 반도체 부품 및 관련 마이크로 일렉트로닉 장치 처리에 사용됩니다. VEECO 1201은 매우 정밀도, 정확도, 제어 기능과 안정성이 뛰어난 저유지 (low-maintenance) 설계를 결합한 독보적인 고급 아키텍처를 갖추고 있습니다. 특히 이중 압력 챔버 (Dual Pressure Chamber) 와 단일 선박 작동 (Single-Vessel Operation) 을 통해 쉽게 모니터링 및 조정 할 수있는 효율적인 에칭 프로세스를 제공합니다. 또한 특허를 획득한 통합 에칭 (etching) 및 부식 제어 시스템을 통해 폐기물을 현저히 줄이고, 처리량을 높이고, 프로세스 품질을 향상시킵니다. 이 시스템은 에칭 처리를 최적화하기 위해 온도, 압력, 유속 (flow rate) 을 제어하여 작동하며, 일관되고 재현이 가능한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. MICROETCH 1201은 또한 플라즈마 및 레이저 에칭 도구, 이온 에칭 도구, 고해상도 리소그래피 도구 등 다양한 에칭, 애셔 도구 및 액세서리를 제공합니다. 이러한 툴은 프로세스 효율성을 극대화하고 안정적인 기능 복제를 용이하게 하기 위해 설계되었습니다. 또한 프로세스 제어 소프트웨어 (Process Control Software), 오프라인 모니터링 소프트웨어 (Offline Monitoring Software) 등 다양한 통합 지원 시스템을 제공하여 사용자에게 프로세스 매개변수에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 1201은 또한 기판을 기판 변동성으로 줄이고 프로세스 균일성을 향상시키는 자동 카세트 전송 시스템 (automated cassette transfer system) 을 갖추고 있습니다. 전반적으로 VEECO/MICROETCH 1201은 고급 반도체 제작 및 마이크로 일렉트로닉스 프로세스에 대한 안정적이고 효율적인 etcher/asher입니다. 이 장치는 다운타임이 줄어들고 공정 (process) 수율이 높은 일관되고 정확한 에칭 (etching) 결과를 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다.
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