판매용 중고 UVOCS T16X16/OES #293807555

제조사
UVOCS
모델
T16X16/OES
ID: 293807555
UV Ozone cleaning system.
UVOCS T16x16/OES는 실험실에서 다양한 에칭 프로세스를 수행하기 위한 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 장비입니다. 이 다용도 시스템 (versatile system) 은 다양한 스케일에서 정확한 에칭을 지원하도록 설계된 다양한 기능을 제공하며, 최상의 품질의 결과를 보장하는 직관적인 컨트롤을 제공합니다. UVOCS T16x16/OES는 지상에서 가장 정밀하고 안전합니다. 이 장치는 에치 (etch) 결과를 정확하게 제어하기 위해 엑시머 에너지 (excimer energy) 의 집중 빔을 지시하는 광학 노출 기계를 사용합니다. 이 방법은 전체 기판 표면에 균일 한 에칭을 제공하며, 오버 에칭 (over-etching) 으로 인해 인접한 영역을 손상으로부터 보호합니다. 광학 도구는 또한 에칭 깊이를 정확하게 제어 할 수 있으며, 에치 깊이에 대한 우수한 미크론 레벨 (micron-level) 컨트롤을 제공합니다. 광학 노출 자산과 함께 UVOCS T16x16/OES는 온보드 화학 전달 모델을 사용하여 성공적인 에칭을 위해 필요한 사전 에칭 화학 물질 및 중화 제를 제공합니다. 이것 은 "에칭 '화학 물질 을 전달 하는 안정적 이고 일관성 있는 방법 을 제공 하여" 에칭' 과정 의 정확성 과 반복성 을 더욱 향상 시킨다. 이 장비 에는 또한, 과도 한 "에칭 '화학 물질 을 적절 히 제거 하기 위한 진공 장치 가 갖추어져 있다. 에칭의 정밀 제어 외에도, UVOCS T16x16/OES는 자동 에치 (post-etch) 클리닝을 제공하며, 사이클 상태의 끝을 감지하고 에칭 결과에 대한 피드백을 제공 할 수 있습니다. 자동 제어 장치 (Automated Control Unit) 를 사용하여 UVOCS T16x16/OES는 매번 신뢰할 수있는 균일 한 에치 시간과 깊이를 제공할 수 있으며, 사용자는 각 에칭 사이클을 통해 원하는 결과를 파악하고 수동 머신 조정의 필요성을 줄일 수 있습니다. UVOCS T16x16/OES (UVOCS T16x16/OES) 는 최적의 온도 관리 기능으로 매우 정밀하고 정확성이 필요한 다양한 어플리케이션에서 신뢰할 수 있는 에칭 결과를 제공합니다. UVOCS T16x16/OES는 뛰어난 에칭 균일성, 균일 한 에칭 깊이 정확도, 광범위한 프로세스 유연성을 통해, 에칭 출력을 최대화하려는 모든 연구소에 이상적인 도구입니다.
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