판매용 중고 UVOCS T10X101/OES #293621296

제조사
UVOCS
모델
T10X101/OES
ID: 293621296
UV Ozone cleaning system.
UVOCS T10X101/OES는 에칭 및 애싱 프로세스를 정확하고 포괄적으로 제어하는 에처/애셔입니다. 프로세스 가스 환경을 제어하는 풀 사이즈, 단면 에처/애셔입니다. 다양한 표면에서 작동하며, 수동 코팅 공정에 비해 다양한 이점을 제공합니다. 이 장치는 오래된 레이어 제거, 레이어 확산 및/또는 레이어 재싱 (ashing) 과 같은 응용 프로그램에 적합합니다. 에처/애셔에는 2 개의 도어가 장착되어 있습니다. 하나는 재료를 적재 및 언로드하고 다른 하나는 입구 및 출구용입니다. 이렇게 하면 재료를 쉽게 도입 및 제거할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 재 순환 및 여과 시스템을 특징으로하며, 이는 공정 가스에서 입자를 제거 할 수있다. 이것은 공정 효율성을 향상시키고 높은 물질 표면 균질성을 초래합니다. 에처/애셔는 25 ° C ~ 600 ° C 온도 조정, 0.1ms ~ 1000 시간 범위의 프로그래밍 가능한 에칭/애싱 시간, 조절 가능한 압력 및 유속 등 여러 열 및 챔버 컨트롤을 제공합니다. 이러한 모든 컨트롤을 사용하면 서피스 및 사용되는 재료에 따라 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 완전히 최적화할 수 있습니다. 이렇게 하면 수동 코팅 공정에 비해, 최소 결함의 서피스도 얻을 수 있습니다. UVOCS T10X101/OES는 헬륨, 질소 및 아르곤의 세 가지 유형의 챔버 가스와 호환됩니다. 이 "가스 '는 이러 한" 가스' 의 전기 특성 을 잘 제어 하여 기판 특성 을 정확 하고 정확 하게 제어 할 수 있게 해 준다. 또한 etcher/asher는 전극, showerhead, 가스 검출기, 절연 실린더 및 thermocouple과 같은 많은 표준 액세서리를 지원합니다. 이 모든 액세서리는 장치의 유연성과 효율성을 더합니다. UVOCS T10X101/OES에는 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 안전 밸브 (Safety Valv) 및 온도 압력 완화 밸브 (Temper Pressure-Relief Valv) 를 포함한 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한 고급 자가 진단 기능 (Advanced Self Diagnostic Function) 이 장착되어 있어 이상을 감지하고 즉시 진단할 수 있습니다. 이를 통해 etcher/asher는 시간이 지남에 따라 성능을 유지합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 여러 가지 기본 제공 자동화 옵션이 제공되어 자동화된 운영 및 재료 제거가 가능합니다. 이렇게 하면 에칭/어싱 프로세스가 빠르고 일관되게 안전하게 수행됩니다. 또한, etcher/asher 는 원격 PC 제어 및 데이터 로깅을 용이하게 하며, 따라서 사용자는 원격 위치에서 프로세스 설정을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 전반적으로 UVOCS T10X101/OES는 혁신적이고 강력한 에처/애셔 (etcher/asher) 로 광범위한 에칭 및 애싱 어플리케이션에서 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 다양한 구성과 자동화 (automation) 옵션으로, 실험실에서 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 필요로 합니다.
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