판매용 중고 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9170856

ID: 9170856
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
High density plasma etcher, 8" For de-layer 2002 vintage.
UNAXIS/NEXTRAL N 860은 금속, 폴리머, 도자기 및 기타 재료의 드라이 에칭과 관련된 생산 공정에 사용하도록 설계된 etcher/asher 설정입니다. 48x48x15cm (work envelope) 로 설계되어 부품의 처리량이 높습니다. UNAXIS N 860에는 자동화된 장비 컴포넌트가 장착되어 있어 작업 조각의 효과적이고 정확한 에칭 (etching) 및 재싱 (ashing) 이 가능합니다. 또한 에칭/애싱 프로세스 (etching/ashing process) 동안 최종 사용자가 방사선 노출로부터 보호하기 위해 최첨단 안전 쉴드를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 닫힌 루프 피드백 장치 (closed-loop feedback unit) 와 사용자에게 친숙한 1개의 제어판 (Control Panel) 이 장착되어 있어 프로세스를 모니터링하고 실시간 조정이 가능합니다. 자동 자동 진단 기능 (Automatic Self Diagnostic Feature) 은 모든 컴포넌트가 운영 시작 전에 완벽한 작업 순서대로 작동하도록 합니다. 기계 하드웨어 내에는 흑연 플라즈마 챔버, 가스 공급 포트, RF (Radio Frequency) 생성기 및 쿼츠 피드 스루 도구가 장착되어 있습니다. RF 생성기는 플라즈마 챔버에 플라즈마 방전을 생성하는 전자기장을 생성합니다. 그런 다음 가스 포트 (gas port) 를 사용하여 챔버에 공정 특정 가스를 도입하여 반응을 유발하고 작업 조각을 에치합니다. 피드 스루 (feed-through) 에셋은 핀치 밸브 메커니즘을 사용하여 반응 가스 흐름 속도와 압력을 정확하게 제어할 수 있으므로 원하는 에칭 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 넥스트랄 N 860 (NEXTRAL N 860) 은 최대 2000dpi까지의 높은 정밀도 에칭 및 애쉬 (ashing) 기능을 제공하여 중요한 산업 부품의 세밀한 라인 에칭 및 절단, 대규모 부품 에칭 및 절단 등 다양한 어플리케이션을 지원합니다. 내부 냉각 모델은 최적의 성능 및 안전을 위해 필요한 온도를 유지합니다. 이 장비는 표준 실험실, 청소실, 산업 환경 등 다양한 환경에서 사용할 수 있습니다. N 860 은 운영 라인과 대규모 운영을 위한 완벽한 솔루션으로, 높은 처리량, 신뢰성, 정확성을 제공합니다. 하드웨어 설계는 높은 성능과 안전성을 보장하는 반면, 사용자 정의 가능한 소프트웨어와 효율적인 피드 스루 (feed-through) 시스템은 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 맞게 미세 조정이 가능합니다. 고급 기능과 안정적인 성능을 갖춘 UNAXIS/NEXTRAL N 860은 모든 환경에서 최적의 운영 성능을 보장합니다.
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