판매용 중고 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9125878

UNAXIS/NEXTRAL N 860은 로드가 통합 된 화학적으로 기계적으로 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 플라즈마 (plasma) 및 습식 (wet-etching) 기술을 사용하여 광범위한 프로세스 응용 프로그램을 지원합니다. 최적화 된 제어 장치를 통해 UNAXIS N 860은 탁월한 필름 두께 균일성과 뛰어난 필름 품질을 제공 할 수 있습니다. NEXTRAL N 860은 유도 결합 코일을 갖춘 플라즈마 에치 챔버 (plasma etch chamber) 를 사용하여 광범위한 전력 수준을 가진 비 평형 플라즈마를 생성합니다. 이 챔버에는 최적의 플라즈마 조건을 보장하기 위해 RF 매칭 네트워크, 가스 버블러 및 진공 펌프가 장착되어 있습니다. 챔버에는 또한 쿼츠 트레이 (quartz tray) 와 열전대 (thermocouple) 가 포함되어 있어 필름 에칭 매개변수에 대한 온도 조절 및 정확한 제어를 제공합니다. 기계는 기계적으로 교반 된 화학 습식 에치 챔버와 통합되어 있습니다. 이 방에는 제트, 펌프, 밸브가 장착되어 있어 재료의 화학적 에칭이 가능합니다. 습식 "에치 챔버 '는" 스테인리스' 로 만들어졌으며 여러 가지 화학 물질 과 호환 되도록 설계 되었다. 이 도구는 레시피 관리 소프트웨어 (recipe management software) 로 프로그래밍되어 레시피 관리 에셋에 프로세스 매개변수를 입력할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 에칭 (etching) 및 증착 시간 제어 (deposition time control) 및 온도통합 (integrated thermocouple) 을 통한 챔버 온도 조절과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 또한 N 860 은 온도제어 (temperature control) 및 에칭 및 증착 프로세스의 작동 안정성을 제공하는 통합 로드 잠금 기능을 제공합니다. "로오드 '자물쇠 는 압력 을 가하고" 스테인레스' 강 으로 만들어져 "에치 '와 증착 수술 을 위한 깨끗 하고 안전 한 환경 을 제공 한다. UNAXIS/NEXTRAL N 860 에칭 및 애싱 모델은 고품질 에칭 및 애싱 작업을 위한 강력한 도구입니다. 최적화된 제어 장비와 다양한 프로세스 어플리케이션 (process application) 을 통해 탁월한 균일성 및 필름 품질을 제공합니다. 또한, 통합 로드 잠금 장치는 온도 조절 및 작동 안정성을 보장합니다.