판매용 중고 UNAXIS / NEXTRAL 860L #9172081

UNAXIS/NEXTRAL 860L은 다양한 습식 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 차세대 에처/애셔입니다. 효율적이고 통제된 건식 (dry-etching) 프로세스를 통해 사용자는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. UNAXIS 860L은 이중 소스 플라즈마 구성을 갖추고 있으며, 조정 가능한 프로세스 설정 및 맞춤형 프로세스 레시피로 정확한 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. 정확하게 안정적인 에칭 결과를 생성 할 수 있습니다. 넥스트럴 860L (NEXTRAL 860L) 은 또한 산업 사용자가 매우 작은 i.d를 사용할 수 있도록 고성능 이온화 된 가스 추출 및 청소 시스템을 제공합니다. 제품을 튜빙하여 부품을 균일하게 추출하고 청소합니다. 다양한 옵션이 장착 된 860L은 뛰어난 에칭 공정을 제공합니다. 프로그래밍 가능한 레시피 설정, 압력 측정, 자동 보정 (auto-calibration) 을 통해 사용자가 쉽고 맞춤화된 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. UNAXIS/NEXTRAL 860L은 또한 산화물 과부하를 줄이고 에치 공정 효율성을 높이기 위해 산화물 제거 및 증착 기능을 제공합니다. UNAXIS 860L은 효율적인 재료 관리를 고려하여 설계되었습니다. 대용량 부하 용량과 최대 400mm x 250mm (16 x 10 ") 의 부품 크기를 처리할 수 있습니다. 맞춤형 공정 챔버 (process chamber) 는 낮은 공정 온도 및 압력에서 균일 한 에칭을 제공하도록 최적화되어 효율성이 높습니다. 또한 NEXTRAL 860L은 안전을 개선하도록 설계되었습니다. 자동 가스 배송 (automated gas delivery) 이 제공되어 사용자가 제어 환경에만 노출됩니다. 860L (860L) 은 시설 전체에 사고가 퍼지지 않도록 내장 화력 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 전반적으로 UNAXIS/NEXTRAL 860L은 탁월한 성능, 신뢰성 및 정밀도를 제공하는 초고효율적인 etcher/asher입니다. 산업용 응용 프로그램에 적합하며, 설치와 사용이 쉽습니다. UNAXIS 860L (UNAXIS 860L) 은 광범위한 유연한 프로세스 레시피를 제공하여 산업 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 선택입니다.