판매용 중고 ULVAC Rise 300 #9270940

ULVAC Rise 300
제조사
ULVAC
모델
Rise 300
ID: 9270940
Batch type etching systems, 12" 2007 vintage.
ULVAC Rise 300은 사용자에게 완전한 에칭, 애싱 및 클리닝 솔루션을 제공하도록 설계된 etcher/asher입니다. 대형의 챔버 (chamber) 크기와 고온의 범위로, 엄격한 조건에서 정밀성과 유연성을 제공합니다. Etcher/asher에는 LCD 터치 패널 모니터가있는 마이크로 컴퓨터 기반 GUI 제어 장비가 있어 사용이 간편합니다. 300 번 상승의 직경은 311mm, 깊이는 200mm이며, 더 큰 웨이퍼와 구성 요소를 처리 할 수 있습니다. 방은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 석영 창문과 에칭 및 청소 진행률을 관찰하기위한 라이너가 있습니다. 에처/애셔는 최대 5 가스의 가스 혼합 옵션으로 25 ~ 400 ° C의 온도 범위를 제공합니다. 또한 진공 범위는 20 ~ 760 Torr입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 온보드 타이머도 갖추고 있으며, 애플리케이션에 따라 특정 에칭 시간을 설정할 수 있습니다. 다른 기능으로는 빠른 온난화, 동종 핫 존, 안전 연동 시스템 및 냉각 장치가 있습니다. ULVAC Rise 300 etcher/asher는 반도체, 하드 디스크 및 LCD 생산 분야에 적합합니다. 기판 및 구성 요소에서 코팅 에칭, 애싱, 해독 및 제거에 사용됩니다. 챔버 크기가 크기 때문에 Rise 300은 더 많은 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 사용자 시간과 비용을 절약 할 수 있습니다. ULVAC Rise 300 (ULVAC Rise 300) 이 제공하는 고온은 칩과 기판에서 완고한 층을 제거하는 데 이상적입니다. Rise 300 etcher/asher는 유연성, 정밀성 및 신뢰성을 제공하여 다양한 에칭 및 클리닝 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 챔버 크기와 온도 범위는 큰 배치 (batch run) 또는 정확한 마이크로 에칭 작업에 적합합니다. 직관적인 제어 기계는 사용자 친화적 인 작동과 안전한 처리를 보장합니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 또한 전자 산업에서 에칭 및 클리닝이 필요한 다양한 운영을위한 저렴한 솔루션을 사용자에게 제공합니다.
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