판매용 중고 ULVAC Phoenix #9186931

ULVAC Phoenix
제조사
ULVAC
모델
Phoenix
ID: 9186931
Ashing system 1996 vintage.
ULVAC Phoenix는 정밀 마이크로 가공을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 얕은 소스/드레인 프로파일 에칭 (eching) 프로세스를 활용하며, 뛰어난 해상도와 반복 기능을 갖춘 고해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 이 시스템에는 ULV (Ultra Low Voltage) 소스, 고급 기판 홀더 및 Arobust 컨트롤러를 포함한 고급 구성 요소 세트가 있습니다. 이러한 모든 컴포넌트는 함께 작동하여 매우 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 생성합니다. 피닉스의 소스는 초저전압 (ULV) 전원 공급 장치로서, 0 ~ 1300V 범위의 다양한 전압을 공급할 수 있으며, 전류 및 전압 설정을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기능은 정확한 프로파일과 안정적인 에칭/어싱 프로세스를 보장합니다. 또한, ULVAC 피닉스 (ULVAC Phoenix) 는 기판과 소스 사이의 전기 간섭을 최소화하도록 설계된 정확한 기판 홀더를 사용하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 피닉스 (Phoenix) 의 컨트롤러는 강력하고 직관적이며, 사용자에게 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 매개변수를 제공합니다. 또한 3D 프로파일 제어를 허용합니다. 즉, 사용자는 복잡한 구조의 표면을 쉽게 에치/애쉬 할 수 있습니다. 또한 컨트롤러에는 고급 타이밍 장치 (advanced timing unit) 가 포함되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. ULVAC 피닉스 (ULVAC Phoenix) 는 가장 진보된 에칭/애싱 시스템 중 하나로, 정확하고 고해상도 패턴의 마이크로 패브릭션에 이상적인 선택입니다. 기계 는 사용 하기 쉽고, 우수 한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 결과 를 낳는다. 직관적이고 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 통해 원하는 패턴을 빠르고 정확하게 달성할 수 있습니다. 고품질 결과와 사용이 간편한 컨트롤 툴로 인해 Phoenix는 모든 에칭/애싱 (etching/ashing) 어플리케이션에 적합한 선택이 가능합니다.
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