판매용 중고 ULVAC Phoenix #9164102

ULVAC Phoenix는 ULVAC, Inc.에서 개발 한 에칭/애셔 장비입니다. 다양한 기판의 고속, 높은 정확도 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 초고속, 1 패스, 각도 제어 (angular control) 가 가능한 자동 기판 처리 장치가 있습니다. 피닉스 (Phoenix) 는 이온 빔을 사용하여 기판을 균일하게 에칭하며, 두 가지 주요 구성 요소 (에칭/애싱 소스, 제어 장치) 가 있습니다. 근원 은 "이온 '원, 기계" 모오션 머신', 그리고 "이온 '광선 에 초점 을 맞추기 위한 일련의" 렌즈' 로 이루어져 있다. 제어 장치는 etching, ashing 및 cleaning 프로세스를 제어하는 데 필요한 매개변수를 제공합니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 다양한 매개변수 설정을 제공하도록 설계되었으며, 사용자가 다양한 기판에 대해 원하는 결과를 얻을 수 있도록 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 프로그램 가능한 매개 변수에는 가스 흐름, 소스 빔 파워, 에칭 및 애싱 각도, 재료 레이어 레이트가 포함됩니다. 조정 가능한 매개변수는 다양한 재료와 프로세스의 유연성을 제공합니다. 또한, ULVAC Phoenix는 반 정적 보호, 인체 공학적으로 설계된 제어판, 정교한 안전 도구를 포함한 국제 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 피닉스는 가장 강력하고 신뢰할 수있는 에처/애셔 중 하나입니다. 이 제품은 고속 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 민감한 제어 시스템, 고급 안전 (safety) 기능을 활용하여 기판을 에칭 및 재싱하는 효율적이고 효과적인 솔루션을 제공합니다. 또한, 유연한 프로그래밍 기능을 통해 다양한 응용 프로그램과 프로세스를 구현하여, 사용자가 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 요구 사항에 맞게 최적의 성능을 구현할 수 있습니다.