판매용 중고 ULVAC Phoenix #133356

ULVAC Phoenix는 ULVAC Technologies Inc.에서 개발 한 에칭/애싱 장비입니다. 현대 집적 회로 설계 를 생산 하는 데 도움 이 되는 "반도체 '산업 의 필수적 인 도구 이다. 이 시스템은 열 산화 (thermal oxidation) 및 화학 에칭 공정을 사용하여 기질 물질 표면에 미세한 패턴을 형성합니다. 이 과정은 작고 복잡한 패턴을 만들어 나노 미터 (nanometer) 범위까지 만드는 데 필수적입니다. 또한 박막 회로를 만드는 데 사용되며, 전자 업계에서 가장 널리 사용되는 에치/애쉬 (etch/ash) 장비 중 하나입니다. 피닉스는 초저진공 (ULV) 챔버를 특징으로하며, 회전원은 가스 나 화학 물질을 챔버에 공급합니다. 부품은 4축 로봇 유닛의 챔버에 로드됩니다. "로봇 '은 정밀도 가 높고, 반복 할 수 있는 정확도 를 가지고 있으며, 모양 과 크기 가 다른 여러 부분 을 수용 할 수 있다. 기계는 습식 및 건식 에칭을 모두 수행 할 수 있습니다. 습식 에칭에서, 화학 혼합물을 챔버에 주입하여, 기판 표면에 원하는 패턴을 생성한다. 드라이 에칭 (Dry etching) 은 플라즈마를 사용하여 스퍼터 및/또는 이온 폭격 과정을 통해 선택적 에칭을 달성하여 패턴을 만듭니다. ULVAC Phoenix는 단일 웨이퍼 및 웨이퍼 카세트 로딩을 모두 지원합니다. 수동/자동 로드, 언로드, 챔버 간 전송 등이 가능합니다. 챔버 내부에 들어가면, 부품이 높은 진공 압력, 반응성 가스, 열의 조합으로 에칭 또는 애시됩니다. 또한, 빠른 주기 시간과 고성능 회전 정밀도 (HPR) 덕분에 챔버 내의 다양한 작업을 빠르고 효율적으로 완료할 수 있습니다. 이 도구는 또한 뛰어난 안정성과 반복성을 제공합니다. 따라서 제품 품질이 일관되게 유지되므로 생산량이 뛰어나고, 생산량이 늘어납니다. 또한, 피닉스 (Phoenix) 는 최소한의 부산물을 제공하기 위해 설계된 수많은 산화 및 에치 (etch) 프로세스를 활용하여 업계 최고의 안전을 제공합니다. 전반적으로 ULVAC 피닉스 (ULVAC Phoenix) 는 뛰어난 에칭 및 애싱 에셋으로, 고품질의 복잡한 서브 미크론 집적 회로 설계 생산에 이상적입니다. 모든 운영 환경에서 강력한 툴이 되는 다양한 기능을 자랑합니다 (영문).