판매용 중고 ULVAC NLD-800 #293610229

ULVAC NLD-800 Asher/Etcher는 웨이퍼 및 광범위한 기판 처리에 이상적인 고성능 에칭 및 애싱 장치입니다. NLD-800 은 초정밀 에칭 (etching) 및 애싱 프로세스 (ashing process) 와 대부분의 고객에 대해 에처 (etcher) 장치를 사용할 수있는 기능을 통해 매우 엄격한 차원 공차와 높은 속도 생산에 적합한 솔루션입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 큰 챔버를 가지고 있으며, 전기 에너지를 효율적으로 전달하고 에칭 및 애싱 공정을 정확하게 제어하기 위해 무선 주파수 발전기를 갖추고 있습니다. ULVAC NLD-800은 RF 생성기의 고주파수 (High Frequency) 및 고출력 (High Power) 기능을 활용하여 균질하고 반복 가능하며 매우 제어 가능한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 각 응용 프로그램에 대한 최상의 결과를 보장하기 위해 프로그래밍 할 수있는 프로세스 수 (number of process), 플래튼 온도 (platen temperature), 주파수 (frequency), 전력 (power) 및 화학 농도 (chemical concentration) 와 같은 제어 매개변수 배열이 있습니다. NLD-800은 수정 없이 직경 최대 6.0 "의 기판을 편리하게 처리하도록 설계되었습니다. 기판을 균일하게 처리하기 위해 클램핑 시스템, 이동식 바구니, 홀더, 격리판을위한 돔 지원 플랫폼 (표준 액세서리) 이 제공되었습니다. 일괄 처리 로더 (Batch Loader) 시스템을 사용하여 기판을 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. ULVAC NLD-800에는 커버 인터록 스위치 (Cover Interlock Switch) 및 플라즈마 저항 이온화기 (Plasma Resistance Ionizer) 와 같은 다양한 안전 측정이 장착되어 있어 내부 압력이 정상이되기 전에 챔버가 열리지 않습니다. 또한, 저질량 의 "스테인레스 '강 덮개 와 최적화 된 대피 장치 로, 가공 화학 물질 의 방전 을 현저 히 줄일 수 있다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 의 고급 설계는 다양한 화학 물질과의 최적 호환성을 가능하게하여 화학 물질의 소비를 줄이고 운영자 (operator) 와 환경에 미치는 영향을 최소화합니다. 또한 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 및 예방 유지 관리 (Preventive Maintenance) 기능을 통해 시스템의 프로세스 조건과 매개변수를 모니터링하여 균질하고 반복 가능한 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 프로세스를 보장할 수 있습니다. NLD-800은 R&D, 계약 제조 또는 생산 환경에서 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을 위한 이상적인 선택입니다. 경량 설계, 고급 안전 기능 및 RF 생성기 기능을 갖춘 ULVAC NLD-800 은 다양한 클라이언트에 높은 수준의 제어, 반복 기능, 기능을 제공합니다.