판매용 중고 ULVAC NLD-500 #9055179

ULVAC NLD-500은 정밀 에처/애셔 (echer/asher) 로, 포토 esist ashing, 금속 에칭 및 웨이퍼 청소와 같은 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 사용되는 장비입니다. 초저진공 재기/에처 (ultra-low vacuum asher/etcher) 는 터보 분자 펌프를 사용하여 매우 높은 진공 환경을 달성하여 안전하고 빠르고 정확하게 에치/재를 만듭니다. NLD-500은 대용량 5.7 인치 LCD 디스플레이를 통해 작동이 쉽고 안정적인 결과를 제공합니다. 또한 자동 클리닝 (auto-cleaning), 자동 닫기 (auto-closing) 및 자동 처리 시스템 (auto-treatment system) 과 같은 여러 자동 운영 체제가 장착되어 있어 항상 최고 성능으로 실행됩니다. ULVAC NLD-500은 또한 이중 플라즈마 모드 (dual-plasma mode) 를 특징으로하며, 동일한 챔버로 웨이퍼 또는 기판을 동시에 에치 및 재시킨다. 에처/애셔는 소형 크기와 효율적인 냉각 시스템으로 설계되었습니다. 소형 설계로 배치 및 수송이 용이한 반면, 냉각 장치는 NLD-500의 수명이 길고 신뢰할 수 있습니다. ULVAC NLD-500은 또한 메모리에 저장된 여러 레시피와 플라즈마 플루오린화 수소산 (HF) 습식 에칭 공정 및 RIE (processed reactive ion etching) 등 다양한 프로세스를 지원할 수있는 능력으로 매우 유연하게 설계되었습니다. 또한 NLD-500은 실리콘에서 석영, 금속 등 다양한 기판 유형을 처리 할 수 있습니다. ULVAC NLD-500의 안전 기능 (Safety Features) 은 근로자와 환경을 위해 높은 수준의 보호 기능을 갖추고 있습니다. 플루오린 가스 농도를 모니터링, 제한하는 플루오린화 수소 센서 (hydrogen-fluoride sensor) 와 기계가 적절한 수위에서 작동하는지 확인하기 위해 수위 경보 (water-level alarm) 를 포함한 여러 센서가 장착되어 있습니다. NLD-500 (NLD-500) 은 초고진공 환경, 효율적인 냉각 시스템, 근로자 및 환경에 대한 보호 수준, 다양한 기판 처리 능력을 갖춘 에칭/애싱 기판을위한 혁신적인 기계입니다. ULVAC NLD-500을 사용하면 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.