판매용 중고 ULVAC NE-950EXz #293797424

제조사
ULVAC
모델
NE-950EXz
ID: 293797424
빈티지: 2014
Dry etching system 2014 vintage.
ULVAC NE-950EXz etcher/asher는 반응성 이온 에칭 및 애싱 프로세스를 제어하기위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 고급 레벨 도구입니다. 이 장비는 이전 모델에 비해 향상된 성능을 제공하는 혁신적인 설계를 갖추고 있습니다. 시스템은 프로세스 챔버, 듀얼 로봇, 컨트롤러 및 다양한 인터페이스 장치로 구성됩니다. 이 챔버에는 균일성과 교차 오염을 줄이기 위해 내부 유도 플라즈마 발전기 (in-situ inductive plasma generator) 가 장착되어 있으며, 수직 및 수평 전기장을 사용하여 고품질 생산성을 제공합니다. 듀얼 (Dual) 로봇은 향상된 자동 급지 및 로드 기능을 제공하여 빠르고 쉽게 작업할 수 있습니다. 증착률이 높으면 NE-950EXz는 에칭/애싱 성능 향상을 위해 더 균일 한 코팅 및 더 높은 플라즈마 밀도를 달성 할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 프로그래밍 옵션이 가능한 다기능 컨트롤러 (Multi-function Controller) 가 장착되어 있습니다. 연산자는 증착 (deposition) 및 에칭 (etching) 프로세스를 특정 작업에 맞게 조정하도록 다양한 매개변수를 구성할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 실시간 모니터링 기능을 제공하여 품질 결과를 보장합니다. 컨트롤러는 원격으로 작동하여 더욱 편리하고 유연하게 사용할 수 있습니다. ULVAC NE-950EXz에는 터보 펌프, 진공 게이지, 엔드 포인트 검출기 및 자동 압력 제어기와 같은 다양한 액세서리도 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리는 효율적이고 안정적인 작동을 보장하도록 설계되었습니다. 이 도구는 다양한 가스 혼합물과 함께 사용될 수 있으며, 이는 모든 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스에 완벽한 적응을 가능하게합니다. 요약하자면, NE-950EXz 는 고급 사용자를 위해 설계된 다용도, 신뢰할 수 있는 에칭/애싱 자산입니다. 고효율 구성 요소, 다기능 컨트롤러, 다양한 액세서리 (accessory) 를 갖춘 이 모델은 고품질 결과와 함께 빠르고 쉽게 작동할 수 있습니다.
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