판매용 중고 ULVAC NE-950EXk #9204281

ULVAC NE-950EXk Etcher/Asher는 고품질 에칭 및 애싱 프로세스를 생성 할 수있는 고정밀 에칭 및 애싱 장비입니다. 고정밀 압력 제어 시스템 및 ULVAC 고유 에칭 기술을 사용하여 NE-950EXK는 매우 균일 한 에치 깊이와 좁은 라인 폭을 가진 필름을 생성 할 수 있습니다. ULVAC NE-950EXk는 일련의 화학 공정과 물리적 기술을 사용하여 재료를 에칭 또는 회수 (etcher/asher) 합니다. 이 장치에는 에치 마스크를 배치하기위한 플라즈마 에처 모듈 (plasma etcher module) 과 에치 마스크를 제거하기위한 스퍼터링 모듈 (sputtering module) 이 포함되어 있습니다. 이 기계에는 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에 사용될 수있는 내장 고정밀 압력 제어 도구가 있습니다. "에칭 '과정 은" 가스' 상 의 물질 과 반응 하는 화학 물질 을 사용 하여 수행 되며, "필름 '을 정확 하게 에칭 하는 데 사용 된다. "애싱 '과정 은, 원치 않는 물질 을 표면 에서 빼내는데 사용 되는 산화제 로 수행 된다. 이 과정은 다른 방법으로 달성 할 수있는 것보다 잔류 층 (residual layer) 이없고 정확도가 큰 정확한 재싱 (ashing) 을 허용합니다. 또한 NE-950EXk 자산에는 3 개의 독립적으로 제어 가능한 가스 소스, 온도 센서 및 질량 흐름 컨트롤러가 장착되어 있어 정확한 에칭 및 재싱이 가능합니다. 또한, 이 모델에는 정밀하고 반복 가능한 진공 결과를 허용하는 챔버 압력 모니터링 장비가 있습니다. ULVAC NE-950EXk는 에칭 및 애싱 외에도 앨범 이온, 스퍼터 퇴적 필름 및 폴리머 필름을 생성 할 수도 있습니다. 또한, 다목적 시스템은 다중 레이어 기판 처리를 허용합니다. 요약하면, NE-950EXk 는 넓은 에치 깊이와 좁은 라인 와이드 (linwidth) 로 고품질의 결과를 낼 수있는 고정밀 에칭 및 애싱 장치입니다. 이 기계의 내장형 고정밀 압력 제어 도구 (high-precision pressure control tool) 와 독특한 에칭 기술 (etching technology) 도 정확하고 반복 가능한 에치 깊이와 좁은 선폭을 가진 필름을 제작하기위한 훌륭한 솔루션입니다. 마지막으로, 자산의 다양성을 통해 스퍼터 퇴적 필름, 이온 빔 증착 및 여러 층의 기판을 생성 할 수 있습니다.