판매용 중고 ULVAC NE-950EXk #293828964
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ULVAC NE-950EXk Asher/Etcher는 강력하고 다기능 에칭, 애싱 및 에치 스트리핑 장비입니다. 통합 플라즈마-진공 장치, 높은 에칭 정밀도를 갖추고 있으며 고속 플라즈마-에칭 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 SiO2 및 다공성 재료 (porous material) 를 모두 에칭 할 수 있으며, 전체적으로 높은 처리율로 다른 구조를 처리 할 수 있습니다. NE-950EXk 는 고효율, 고속 건식 식각 공정을 활용하여 균일 한 식각 속도를 달성합니다. 고급 컴퓨터 제어 프로세스는 정확한 프로세스 추적 및 제어를 제공합니다. 또한, 이 기계는 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 빠른 설치 및 전환 시간이 가능합니다. ULVAC NE-950EXk에는 내장 전원 공급 장치 및 가스 흐름 분배 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 프로세스 애싱 (ashing) 과 에칭 (etching) 모두에 대해 정확하고 일관된 가스 제어를 제공하며, 모델은 최대 300W의 에칭 전력을 제공 할 수 있습니다. 다른 기능으로는 단일 조각 마스크 옵션과 빠르게 변경할 수있는 멀티 피스 마스크가 있습니다. 이 장비는 또한 고해상도 에칭 및 애싱 프로세스를 갖추고 있습니다. 온보드 이미지 처리 알고리즘은 표준 이미징 기술보다 높은 해상도의 에칭을 허용합니다. 에치 (etch) 과정 역시 매우 정확하고 반복 가능하며, 에칭 거리를 실시간으로 조정할 수 있습니다. NE-950EXk Asher/Etcher 는 프로세스 유연성을 고려하여 설계되었으며, 다양한 재료와 구조에 대한 고출력, 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지원합니다. 또한 자체 포함 된 운영, 가스 및 먼지 조절 시스템을 갖춘 저가 유지 보수를 위해 설계되었습니다. 시스템의 통합 플라즈마 진공 시스템 (Plasma-Vacuum Systems) 도 저렴한 유지 보수가 필요하며 향상된 안전 보호 기능을 제공합니다. ULVAC NE-950EXk Asher/Etcher는 고해상도 에칭, 애싱, 에치 스트리핑 및 기타 기능을 지원하는 강력한 다기능 장치입니다. 통합 플라즈마-진공 시스템은 정확하고 일관된 가스 제어를 제공하며, 고급 컴퓨터 제어 프로세스는 정확한 프로세스 추적 및 제어를 제공합니다. 고효율 및 고속 건식 식각 프로세스는 안정적인 반복성과 균일 한 식각 속도를 제공합니다. 이 기계는 저비용 (low-cost) 유지 관리를 위해 설계되었으며 고해상도 에칭 및 제어를 위한 고급 이미징 도구를 갖추고 있습니다.
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