판매용 중고 ULVAC NE-950EX #293828963

ULVAC NE-950EX etcher/asher는 다양한 응용 프로그램에서 매우 얇은 필름의 정밀 에칭 또는 재싱에 사용되는 고급 드라이 에칭 장비입니다. 이 시스템은 Si, GaAs, Cu 등과 같은 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 카운터밸런싱 로드 프레임 (counterbalanced load frame) 과 향상된 추력 용량 (thrust capacity) 을 통해 프로세스 매개변수의 최대 제어를 유지하면서 높은 처리량 및 정확도 수준을 유지할 수 있도록 설계되었습니다. NE-950EX는 매우 정확한 에칭 또는 애싱 프로세스를 제공합니다. 이 머신에는 처리량이 높고, 빠른 턴어라운드 (turn-around) 시간을 제공하는 여러 프로세스 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 올바른 웨이퍼 두께, 정확한 압력 제어, 정확한 온도 조절의 자동 조정이 포함됩니다. DC 작동은 일관된 성능을 보장하고 정전기 방전의 위험을 제거합니다. 또한, 공정 챔버에서 입자가없는 입자를 보장하는 고급 파이프 압력 모니터 (Advanced Pipe Pressure Monitor) 와 통합됩니다. ULVAC Advanced Plasma Generator를 사용하여 ULVAC NE-950EX는 기판 재료에 대한 최소한의 손상으로 높은 에칭 속도를 제공합니다. 이 도구는 Etch 속도 및 선택성에 대한 고급 제어를 지원하는 Multi-Nozzle Plasma 소스를 특징으로합니다. 3 개의 전극 에셋이 추가되면, 모델은 에칭 된 패턴의 크기, 모양, 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. NE-950EX는 프로세스 자동화 장비로 뛰어난 프로세스 안정성을 제공합니다. 이 시스템은 최대 15 개의 다른 레시피를 저장할 수 있으며 간단한 푸시 버튼 (push-button) 작업으로 조정할 수 있습니다. 이 자동화 장치는 또한 원격 작동 및 진단을 통해 효율적인 유지 관리를 지원합니다. 추가 안전 및 보호를 위해 기계는 자동, 지연된 과압 보호 (overpressure protection) 및 긴급 차단 (emergency shut-off) 스위치와도 통합됩니다. ULVAC NE-950EX는 뛰어난 재현성을 갖춘 빠르고 정확한 프로세스를 제공하는 고급형 etcher/asher입니다. 이 자산은 통합 자동화 툴 (automation tool) 을 통해 높은 수준의 재생성과 고급 제어를 통해 탁월한 에칭 품질을 제공할 수 있습니다. 낮은 유지 보수 비용과 결합된 이 모델은 탁월한 ROI (투자 수익) 를 제공합니다.