판매용 중고 ULVAC NE-950EX #293647319

ULVAC NE-950EX는 고급 연구 및 산업 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계된 에치/애셔 (etch/asher) 입니다. 이 기기는 웨이퍼, 집적 회로 및 기타 기판에서 고품질, 고해상도 에칭을 생성합니다. 좁은 전자 빔을 사용하여 높은 에치 속도, 낮은 오염, 뛰어난 표면 품질을 제공합니다. NE-950EX (NE-950EX) 는 우수한 깊이 제어를위한 독점적 인 방사형 빔 제어 장비를 특징으로하며, 빔 안정성 및 균일성 향상을 위해 차폐 된 핫 음극 전자 건이 특징입니다. ULVAC 독점 가스 혼합 시스템을 사용하여이 에처는 메탄, 산소, 산화 질소, 질소 가스, 아르곤 등을 포함한 다양한 가스를 지원합니다. 또한, 이 장치에는 자동 가스 구성 및 흐름 제어 장치 (flow control machine) 와 빠르고 효율적인 에칭을위한 포괄적 인 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 가 장착되어 있습니다. 또한 사용자는 각 에칭 (etching) 프로세스에 대한 매개변수를 설정하여 일관된 결과를 확인할 수 있습니다. 또한 ULVAC NE-950EX는 봉인 된 RF 플라즈마 챔버를 제공하여 에칭 할 때 오염을 최소화합니다. 그 정교 한 가열 도구 는 공정 표면 의 온도 를 증가 시키고 "가스 '를" 이온' 과 전자 의 자극 을 형성 함 으로써 "에칭 '을 더 효율적 이 되게 한다. 이 이온은 기판 재료와 반응하여 균일 한 에칭 프로파일을 생성합니다. 이 자산에는 내장, 자동 진공 모델, 종합 장비 모니터링 및 진단 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 모니터링 소프트웨어를 사용하면 실시간 시스템 매개변수, 가스 흐름 및 압력, 챔버 온도, 오류 메시지를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 추가 분석 및 기록 보관을 위해 데이터를 외부 프린터 (printer or computer) 로 내보내는 기능을 제공합니다. 마지막으로, NE-950EX 는 손쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 터치스크린 컨트롤러 (touch-screen controller) 를 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 컴팩트하고 저렴한 단위로 뛰어난 에치 결과, 기판 오염 감소, 높은 표면 품질 및 해상도, 뛰어난 깊이 제어를 제공합니다.