판매용 중고 ULVAC NE-950EX-V #9298401

ULVAC NE-950EX-V는 모듈 식 설계로 구성된 에처/애셔 장비입니다. 금속에서 반도체 (semi-conductor) 에 이르기까지 다양한 물질의 고품질 에칭이 가능합니다. 250mm 웨이퍼 (wafer) 까지 다양한 크기의 기판을 에칭/회수 할 수 있습니다. 시스템에는 각 에칭 프로세스 (etching process) 에 대해 올바른 설정을 적용할 수 있도록 기판 크기를 감지하는 센서가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 최대 3 개의 다른 에칭 스테이션 (etching station) 과 2 개의 애싱 스테이션 (ashing station) 을 보유 할 수 있으며, 한 번에 멀티 스텝 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. NE-950EX-V의 주요 기능은 다재다능성입니다. 그것은 4 축 X-Y-Z-Z 제어 기계를 가지고 있으며, 각 기판을 최대 에치 정확도를 위해 정확하게 배치하고 조정 할 수 있습니다. 이 도구 는 또한 여러 가지 공정 "가스 '를 수용 할 수 있으며, 각" 가스' 의 흐름 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이를 통해 각기 다른 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 여러 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 에셋은 자동 제어 장치 (automated control unit) 에 의해 구동되며, 사용자 정의 에칭 및 애싱 작업을 위해 사용자가 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 최적화된 프로세스 매개변수를 위한 기본 제공 자동 조정 (auto-tuning) 모델로 설계되었으며, 원격으로 모니터링 및 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 변경 중에도 빠르고, 안정적이며, 안정적으로 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장비는 또한 무단, 잠재적으로 위험한 운영을 방지하기 위해 인터록 (interlock) 및 모니터링 요소가있는 포괄적 인 안전 기능을 갖추고 있습니다. 결론적으로 ULVAC NE-950EX-V는 정밀 제어 및 자동화를 갖춘 강력하고 유능한 etcher/asher입니다. 유연성이 높고, 최적화된 운영으로, 모든 유형의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 이상적인 시스템입니다.