판매용 중고 ULVAC NE 7700 #9111268

ULVAC NE 7700은 다양한 재료를 에칭하도록 설계된 고정밀, 저온 에처/애셔입니다. 저온 (low temperature) 기능을 통해 저하 위험을 최소화하면서 섬세하고 민감한 재료를 가져올 수 있습니다. NE 7700에는 내부 부피 71L (71L) 의 스테인리스 스틸로 구성된 공정 챔버가 있습니다. 이산화탄소 (CO2) 가스 전달 시스템을 제공하여 챔버 전체에서 정확하고 균일 한 에칭 공정 제어를 가능하게합니다. 슬릿 로딩 설계는 기판 로딩 및 언로드가 용이하며 공정 챔버의 먼지 입자 (dirt particle) 에 대한 보호를 제공합니다. 또한, 공정에서 오염 물질 및 휘발성 유기 화합물을 대피시키기 위해 통합 진공 펌프가 포함됩니다. 프로세스 제어를 위해 ULVAC NE 7700에는 수동 및 프로그래밍 가능한 전원 공급 장치를 모두 갖춘 PSU (Power Supply Unit) 가 있습니다. PSU는 전원 켜기 시간 및 전원 끄기 시간 (10ms 단계), 총 전원 공급 시간 (25m 단계) 으로 매우 정확합니다. 프로세스 전반에 걸쳐 처리 압력을 모니터링하기 위해 VPI (Vacuum Pressure Indicator) 도 포함되어 있습니다. NE 7700에는 에칭 조건에 따라 습식 에칭 프로세스를 자동으로 제어하는 최적 프로세스 설정 (Optimal Process Setting) 프로그램이 있습니다. 에치 레이트 (etch rate) 와 프로파일 (profile) 에 대상 에칭 깊이와 민감도를 입력하여 에칭 프로세스의 최적 조건을 계산합니다. 에치 속도는 0.2 내지 20 ° m/min에서 조절 가능하며 에칭 트 온도 범위는 0 ° C - 70 ° C이다. ULVAC NE 7700은 금속, 반도체, 폴리머 등 다양한 재료를 에치하는 데 사용될 수있는 다재다능한 에처/애셔입니다. 컴팩트한 데스크탑 디자인 (Design Design) 을 통해 모든 실험실 환경에 쉽게 통합할 수 있으며, 온도가 낮아 정확하고 민감한 에칭 (etching) 어플리케이션에 적합합니다. 따라서, 그것은 대학, 연구소 및 생산 환경에서 응용프로그램을 에칭 및 애쉬하는 데 이상적인 선택입니다.