판매용 중고 ULVAC NE-550EXz #293797487

ULVAC NE-550EXz는 다양한 nanofabrication 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 고급 플라즈마 에처/애셔입니다. 이것 은 "나노디바이스 '를 제조 하는 데 특히 적합 하다. NE-550EXz 는 프로세스 제어가 효율적이며, 고정밀 쿼츠 쿼츠 챔버 (quartz quartz chamber) 를 장착하여 etch 매개변수 및 결과를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 약실은 반응성 가스의 일관된 공급을 보장하도록 설계되었으며, 낮은 주변 압력 (6 mTorr 미만) 에 도달 할 수 있습니다. 또한 III-V 및 폴리머 기반 기판을 포함한 샘플 재료의 개선 된 우선 처리를 특징으로합니다. ULVAC NE-550EXz는 내장 제어 및 모니터 기능도 갖추고 있습니다. 컴퓨터 제어 시스템을 통해 운영자는 에칭 중 가스 흐름, 압력 및 플라즈마 상태를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 또한 온도 조절 알고리즘 (temperature control algorithm) 형태의 실시간 피드백을 활용하여 일관된 결과의 연산자를 보장합니다. 이 시스템은 또한 기판의 자동 실시간 트리밍 (automatic real-time triming) 을 지원하여 에치 프로파일을 최적화하기 위해 작은 크기를 조정합니다. 전력 면에서 NE-550EXz는 뛰어난 성능을 제공합니다. 2 개의 마이크로 레인지 발전기 (고주파 펄스 발전기 1 개, 저주파 연속 발전기 1 개) 가 장착되어 플라즈마 소스에 충분한 전력을 공급합니다. 이를 통해 선택성과 균일성이 높은 에치 프로세스를 실현할 수 있습니다. 또한, 최대 15 초의주기 시간을 달성 할 수 있으며, 이는 나노 (nanodevice) 의 빠른 회전 생산에 이상적인 시스템입니다. 마지막으로 ULVAC NE-550EXz는 ULVAC의 유명한 서비스 및 지원이 지원됩니다. 숙련된 엔지니어는 설치, 시운전, 데이터 로깅 및 예정된 유지 보수에 대한 지원을 제공할 수 있습니다. 따라서 NE-550EXz 사용자는 최고 수준의 고객 서비스 (Customer Service) 의 지원을 받을 수 있습니다.