판매용 중고 ULVAC NE 550EXa #293627815

ULVAC NE 550EXa는 뛰어난 에치와 재 성능을 제공하는 모든 기능을 갖춘 에처/애셔입니다. 이 장비는 고급 챔버 (Advanced Chamber) 디자인과 다양한 공정, 펌프 및 추출 옵션을 갖추고 있으며, 가장 어려운 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 요구 사항도 충족하도록 맞춤 조정할 수 있습니다. NE 550EXa 챔버 설계에는 고급 이중 영역, 회전 및 선형 드라이브, 독립적 인 다중 영역 에치 및 애쉬 기능이 있습니다. 이 공정 챔버는 이중 벽 공정 배기 매니 폴드 (manifold) 를 갖춘 RF 구동, 스테이플 벽 설계를 사용하여 최대 펌프 챔버 제거 효율 및 최적의 프로세스 제어를 수행합니다. 듀얼 존 (Dual-Zone) 설계를 통해 웨이퍼의 여러 영역에서 피쳐를 에칭 및 재싱할 수 있습니다. ULVAC NE 550EXa는 또한 고효율, 다중 속도 마그네트론 스퍼터링 소스, 내부 윈도우 냉각 챔버, 고수요 멀티 채널 펌프, 다양한 선택적 프로세스 가스 및 혼합물, 전기적으로 분리 된 챔버. 고효율, 멀티 채널 펌프 (옵션) 는 최대 프로세스 처리량 및 제어가 필요한 대용량 프로세스에 적합합니다. 이 시스템은 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스를 간소화하고 자동화할 수 있는 맞춤형 프로세스 프로그램과 가변 속도 모터를 제공합니다. 프로그래밍 가능한 프로세스 설정을 사용하면 챔버 압력, RF 스퍼터 전원, 척 전압, 코트/에치/애쉬 타임, 온도 및 가스 흐름과 같은 프로세스 매개 변수를 구성할 수 있습니다. 또한 NE 550EXa는 안전하고 쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치에는 안전 연동기 (Safety Interlock Machine) 와 가청 및 시각적 경보를 갖춘 종합적인 모니터링 도구가 있습니다. 이 자산에는 사용이 간편한 전자 제어판, 컬러 그래픽 사용자 인터페이스, 실험실 자동화 인터페이스, 네트워크 지원 운영 등이 포함되어 있습니다. ULVAC NE 550EXa는 가장 엄격한 에치 앤 애쉬 (etch and ash) 요구 사항조차도 충족하도록 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 고급 챔버 설계, 사용자 정의 가능한 프로세스 프로그램, 다양한 프로세스, 펌프 (Pump) 및 추출 (Extraction) 옵션은 제조를 위해 정확하고 풍부한 부품을 만드는 프로세스를 단순화합니다. 소형 부품 또는 대용량 부품을 에칭, 매싱할 경우, NE 550EXa 는 비용을 절감하고, 효율성을 향상시키며, 생산 프로세스를 더욱 쉽고 안정적으로 수행할 수 있습니다.