판매용 중고 ULVAC NE 550C #9266611

ULVAC NE 550C (ULVAC NE 550C) 는 직경이 8 인치 인 웨이퍼 (wafer) 의 패턴 크기 감소 및 정의를 위한 에처 및 애셔입니다. ULVAC NE-550C의 고급 설계 및 기능을 통해 뛰어난 생산 성능과 정밀도를 제공합니다. ULVAC 독점 응축 보조 반응성 에칭 기술은 낮은 측면 에칭 입구로 높은 품질의 결과를 생성합니다. 이 기계는 통합 펄스 에칭 기능을 갖춘 인라인 고성능 RF 생성기를 사용합니다. 펄스-에칭 (pulse-etching) 은 웨이퍼의 높은 균일 한 패턴 정의를 보장하고 불필요한 에칭을 제한합니다. NE 550C 는 에칭 (etching) 프로세스와 애싱 (ashing) 프로세스 간에 전환이 가능하므로 광범위한 애플리케이션에 유용합니다. 이 기능은 프로세스를 자주 전환해야 하는 고객에게 이상적인 기능으로, 효율성과 생산성을 향상시킵니다. 이 기계 는 또한 "와퍼 '를 챔버' 안 에 넣자마자" 에칭 '이나 "애싱' 처리 를 시작 하는 자동" 웨이퍼 '처리 장치 를 갖추고 있다. 완전 자동 제어 장비 (PC 기반 컨트롤러) 를 사용하면 에칭 (etching) 프로세스를 조정하여 필요한 최고 표준을 충족할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어와 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 기체 구성, 압력, 에치 타임, 온도 등의 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. NE-550C 는 외부 "가스 '와 공기 의 영향 을 최소화 하면서 공정" 챔버' 에 고균일 한 "플라즈마 '를 공급 하는 온보드 진공 장치 를 갖추고 있다. 자동 가스 필터 클리닝 장치 (automatic gas filter cleaning unit) 및 자동 누출 탐지 장치 (automatic leakage detection machine) 는 가스선 유지보수로 인한 가동 중지 시간을 줄이고 안전한 처리를 보장합니다. ULVAC NE 550C는 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적인 고효율 에칭 및 애싱 기계입니다. 첨단 기술로 낮은 측면 에칭 입구로 고품질 처리가 가능합니다. 프로세스 간 전환 기능, 자동 웨이퍼 처리 (Automatic Wafer Handling), 온보드 진공 도구 (Onboard Vacuum Tool) 및 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 효율적이고 안전한 처리를 보장하므로 까다로운 어플리케이션에도 적합합니다.