판매용 중고 ULVAC NE 550 #293758401

ULVAC NE 550은 ULVAC Technologies, Inc.에서 제조 한 에칭/에칭 애싱 머신입니다. NE 550 은 "드라이 프로세스 (dry process)" 기술을 활용하여 웨이퍼를 에치하거나 재로 만드는 데 필요한 시간을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 기술은 보유 테이블, 플라즈마 흐름, 질소 가스의 조합을 사용하여 에칭/애싱 프로세스를 가속화합니다. ULVAC NE 550에는 컴퓨터 제어 장비와 질감 테이블 (TABLE) 이 장착되어 있어 웨이퍼 표면의 에치 애쉬 (etch-ash) 접착이 향상됩니다. 이 표는 또한 우수한 웨이퍼 평탄성을 제공합니다. NE 550의 챔버 크기는 40cm (길이) x 36cm (너비) x 25cm (높이) 입니다. 이것은 직경이 최대 400mm 인 웨이퍼와 최대 1mm 인 두꺼운 필름을 허용합니다. 또한 ULVAC NE 550 에는 재동기화 (redo) 및 자동 정렬 (auto-align) 기능이 장착되어 있어 시스템을 에칭 전에 웨이퍼를 빠르게 정렬할 수 있습니다. NE 550은 유도 결합 및 전자-사이클로트론 공명 (ECR) 의 2 개의 플라즈마 소스를 사용하며, 정밀한 에칭/애싱을 위해 10 ~ 3,000 와트의 전력 범위를 갖습니다. 온도 범위는 100 ° C ~ 450 ° C이며, 에치 속도는 0.3 ° m/min에서 15 ° m/min입니다. ULVAC NE 550에는 프로그래밍 가능한 레시피 및 매개 변수를 갖춘 자동 제어 장치 (Control Unit) 가 있어 사용자 친화적 인 작동이 가능합니다. 이 기계는 또한 에칭 및 애싱 응용을위한 산소, 질소, HCl, CF4 및 SF6 가스의 사용을 결합하는 고급 반응성 가스 도구를 갖추고 있습니다. NE 550은 실리콘 웨이퍼의 금속 및 유전층을 에칭/세척하는 데 이상적입니다. 또한 반도체 장치, 태양 전지, 평면 패널 디스플레이 처리에 다양한 산업에서 사용됩니다. 연구 개발 응용 분야에 널리 사용됩니다. ULVAC NE 550 (ULVAC NE 550) 은 모든 에치/애쉬 (etch/ash) 어플리케이션을 위한 효율적이고 안정적인 솔루션으로 입증된 효과적인 자산입니다. 정밀도 (precision), 속도 (speed), 정확도 (accurity) 의 조합은 정교한 컴포넌트를 제작하는 데 이상적인 선택입니다. 안정적이고 정확한 결과를 얻기 위해 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 도구를 필요로 하는 사용자에게 적합한 옵션입니다.