판매용 중고 ULVAC NE-5000N #293659687

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제조사
ULVAC
모델
NE-5000N
ID: 293659687
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Dry etching system, 6" Non SMIF Type 2000 vintage.
ULVAC NE-5000N (ULVAC NE-5000N) 은 광범위한 생산 프로세스를 위해 설계된 에칭/애셔이며, 다양한 기능을 제공합니다. 풍부한 진공 챔버 (vacuum chamber) 와 온도 조절 공정 용기가 장착되어 있습니다. 약실은 최대 5 Torr의 압력과 250 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 에칭, 스퍼터링, CVD (화학 증기 증착), PVD (물리적 증착), LPCVD (저압 화학 증착) 및 저항막. 이러한 유연성을 통해 NE-5000N은 광범위한 프로토 타이핑 및 운영 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. ULVAC NE-5000N은 사용자 친화적이며, 프로그래밍 가능한 프로세스 매개변수, 온도 조절, 이더넷을 통한 원격 액세스 등 다양한 제어 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 etcher 를 원하는 사양에 맞게 쉽게 구성할 수 있고, 원격 (remote) 방식으로 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 제어 시스템은 또한 프로세스 데이터를 분석하여 성능을 향상시키는 강력한 소프트웨어 (software) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 노트북, 태블릿, 스마트폰, PC 등 다양한 플랫폼에서 액세스할 수 있습니다. 이 에처 (etcher) 에는 또한 다양한 소결로가 장착되어 있으며, 이는 스퍼터링, 에칭, 어닐링 금속 및 기타 재료로 정확한 미세 구조를 만드는 데 사용될 수 있습니다. 일괄 처리 (batch-processed) 방식의 제어 환경에서 수행되며, 추가 지침을 위해 높은 정밀도 표면을 생성하거나, 추가 머시닝 (machining) 또는 기타 프로세스 단계의 원본 재료 역할을 할 수 있습니다. NE-5000N 은 또한 비상시적 가스 (Off-gas) 시스템, 압력, 진공 안전 시스템 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 완전 히 고립 된 구성 요소 로 설계 되었는데, 이 구성 요소 는 지속적 으로, 환경 에 미치는 영향 을 줄여줍니다. 이 에처 (etcher) 모델은 안전하고 생산적인 작업 환경을 보장하는 최대한의 안전성과 효율성을 염두에 두고 설계되었습니다.
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