판매용 중고 ULVAC NA1000 #9130841

ULVAC NA1000은 에칭 및 애싱 프로세스에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 이 시스템은 기존의 asher/etcher 시스템보다 뛰어난 성능, 정확성 및 비용 이점을 제공합니다. 이 장치 는 매우 소형화 되고 집적 된 기계 로서, 매우 다양 한 "헤드 '," 펌프' 및 기타 장비 들 을 함유 하고 있는데, 그것 은 매우 다양 한 반도체 와 비슷 한 응용 에 적합 하다. NA1000 툴은 4 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있으며, 이 구성요소는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 효율적이고 안정적인 방식으로 수행합니다. 이러한 구성 요소에는 Plasma Generator Module, Substrate Transport Module, Etcher/Asher Chamber 및 Vacuum Generator Module이 포함됩니다. 이러한 구성요소는 모두 상호 연결되어 효율적이고 정확한 작동을 보장합니다. 플라즈마 발전기 모듈 (Plasma Generator Module) 은 에처/애셔 챔버에 전류의 흐름을 제공하도록 설계된 진공 아크 발전기입니다. 이를 통해 플라즈마 반응과 고속 에칭 및 애싱 연산을 정확하게 제어 할 수 있습니다. Substrate Transport Module은 에처/애셔 챔버 (etcher/asher chamber) 로 기판을 수송하도록 설계된 컨베이어 에셋입니다. 에처/아셔 챔버 (Etcher/Asher Chamber) 는 별도의 대피 포트가있는 챔버이며 다양한 전극 및 양극 팁을 포함합니다. 이러한 컴포넌트는 모두 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 용이하게 하기 위해 함께 작동하도록 설계되었습니다. 진공 발전기 모듈 (Vacuum Generator Module) 은 모델의 주요 진공 소스이며 에칭 및 애싱 프로세스를위한 저압 환경을 생성하도록 설계되었습니다. 이 모듈에는 고정밀 진공 펌프 (high-precision vacuum pump) 와 etcher/asher 챔버의 저압 유지에 필요한 액세서리가 제공됩니다. 또한 이 모듈에는 Pressure Interlock 시스템, Process Monitoring 및 Fault Detection 알고리즘과 같은 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 최적 상태와 안전한 조건에서 프로세스가 실행됩니다. 전반적으로 ULVAC NA1000 에처/애셔 장비는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 모듈식 디자인, 고정밀 구성 요소, 다양한 헤드, 펌프, 기타 액세서리 (액세서리) 를 갖춘 이 장치는 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 적합합니다. 더욱이, 첨단 기술, 안전 시스템, 정밀 한 결과 를 얻을 수 있는 능력 으로 인하여 "반도체 '나 그 와 비슷 한 생산 환경 에 이상적 인 선택 을 할 수 있다.