판매용 중고 ULVAC Enviro #9399209

제조사
ULVAC
모델
Enviro
ID: 9399209
웨이퍼 크기: 8"
Downstream microwave asher, 8" Single chamber advanced strip system ENI OEM 6B RF Generator BROOKS AUTOMATION Robot EDWARDS IQ Pump/blower Computer (5) MFCs Manuals included.
ULVAC 환경 (ULVAC Enviro) 은 두께가 매우 균일한 고품질 금속 표면을 생산할 수있는 건식 에칭 및 애싱 (ashing) 장비입니다. 이 제품은 강력한 자외선 방출 소스를 갖추고 있으며, 에칭 (etching) 과정에서 기질에 대한 열 손상을 크게 줄였습니다. Enviro 는 또한 우수한 진공 기능을 갖추고 있어, 프로세스 속도를 극대화하면서 10 ~ 8 Torr 미만의 진공 압력을 가할 수 있습니다. 또한, 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 공정은 유리 안감 챔버와 통합되어 사용자가 진행 상황을 관찰하고 에칭 중에 필요한 조정을 수행 할 수 있습니다. 이것은 또한 전체 시스템의 안전을 증가시킵니다. 운영 측면에서 ULVAC Enviro는 매우 다재다능하도록 설계되었습니다. 단순 제어 블록 메커니즘 (simple control block mechanism) 과 조절 가능한 가스 흐름 장치 (adjustable gas flow unit) 를 사용하면 에칭 매개변수를 특정 기판 요구 사항에 맞게 사용자정의할 수 있습니다. 예를 들어, 전력 설정 (power setting), 가스 흐름 (gas flow) 및 챔버 압력 (chamber pressure) 을 실시간으로 조정하여 다양한 프로세스 요구를 충족시킬 수 있습니다. 또한, 제어 장치 (Control Machine) 는 임베디드 모니터링 툴 (Embedded Monitoring Tool) 로, 에칭 중에 발생할 수 있는 비정상적인 상황을 감지하여 최고 수준의 제품 성능과 신뢰성을 보장합니다. 기능과 관련하여 Enviro 는 다양한 하드웨어 구성요소를 갖추고 있습니다. 여기에는 컴퓨터 모니터 (Computer Monitor), 광학 뷰 에셋 (Optical Viewing Asset) 및 에칭 과정에서 생성된 고온을 견딜 수있는 안전 유리가 포함됩니다. 또한, ULVAC Enviro 는 수동 (manual) 모드나 자동 (automated) 모드로 작동되도록 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 원하는 대로 프로세스 단계를 조정할 수 있습니다. 이를 통해 가장 효율적인 에칭 프로세스가 달성됩니다. 마지막으로 Enviro는 내구성과 낮은 유지 관리 비용을 고려하여 설계되었습니다. 이중벽 모델 (double wall model) 을 통해 사용자가 필요할 때 컴포넌트에 액세스하고 교체할 수 있으므로 장비가 장기적으로 사용하기에 이상적입니다. 또한, "필터 '나" 튜빙' 등 소모품 들 도 포함 되어 있으며, 쉽게 대치 되어 앞 으로 유지 보수 가 필요 하게 된다. 전반적으로 ULVAC 환경 (ULVAC Enviro) 은 사용자에게 다양한 고급 기능과 기능을 제공하여 에칭 (etching) 요구에 맞춰 다양하고 안정적인 솔루션을 제공하는 인상적인 에칭 및 애싱 시스템입니다.
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