판매용 중고 ULVAC Enviro II #9272299

ULVAC Enviro II는 ULVAC Technologies Inc.에서 개발 한 최첨단 고성능 에칭/애싱 장비입니다. ULVAE Enviro II는 정밀하고 균일 한 에칭, 애싱 (ashing) 또는 결정화가 필요한 반도체 산업 및 재료 과학의 응용 분야에 이상적입니다. ULVAC Enviro II는 광범위한 프로세스 기능을 갖춘 단일 챔버 에칭/애싱 시스템입니다. 고급 (advanced) 원격 프로세스 제어 장치를 통해 수동 및 자동 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 이 기계는 비활성 기체에서 에찬트 (etchant) 까지 광범위한 공정 가스 내에서 작동합니다. 전체 기능의 닫힌 루프 온도 및 압력 제어가 있으며, 균일하고 반복 가능한 프로세스 조건을 생성합니다. Enviro II는 가장 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 온도, 압력, 대기 조건에서 작동 할 수 있습니다. 이 도구는 깨끗하고, 오염이 없는 작업 환경을 제공하도록 설계되었으며, 대량 생산을 가능하게 하는 자동 샘플 로드 (sample loading) 및 언로드 에셋 (unloading asset) 기능을 갖추고 있습니다. 이 모델은 고밀도 압력, 온도 감지 및 제어로 완성되어, 빠르고 정확한 프로세스 모니터링을 보장합니다. ULVAC Enviro II는 또한 강력한 고속 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 및 회전 밸브 펌핑 시스템 (rotary valve pumping system) 과 빠른 반응 및 긴 수명 전기 진공 밸브를 갖춘 강력한 진공 장비를 갖추고 있습니다. 이 장치는 필름 입금, 등각 필름 입금, ashing 및 etching, epitaxial growth, annealing 및 데이터 저장에 적합합니다. Enviro II는 처리량이 많은 생산을 위해 제작되었습니다. ULVAC 고급 다중 배치 제어 기술, 개선 된 프로세스 가스 혼합, 설치 시간 단축 등의 이점을 누릴 수 있습니다. GAT-Advance 멀티 포인트 분석을 통해 hiSpec III 데이터 로깅 및 모니터링 기능을 자랑하는 프로덕션 지원 머신으로, 실시간 데이터 모니터링을 통해 탁월한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. ULVAC Enviro II는 가장 높은 수준의 정확성, 반복성, 균일성을 달성하기 위해 중요한 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 선택하는 절묘한 도구입니다.