판매용 중고 ULVAC Enviro II #293813794
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ULVAC Enviro II는 플라즈마 에칭, 애싱 및 청소 작업과 같은 다양한 응용 분야에 사용되는 에처/애셔입니다. 다양한 자동 기능 및 진공 장비 구성을 갖춘 수직으로 적재 된 종합 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이 기계는 산업 규모의 생산을 위해 설계되었지만, 필요에 따라 소규모 운영에도 사용될 수 있습니다. 유연 기판 운송 시스템 (Flexible Substrate Transport System) 을 통해 단일 및 멀티 피스 기판의 다양한 재료 표면을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 광범위한 etch 및 ash 처리를 지원할 수 있으며, 사용자가 전압, 온도, 농도, 지속 시간 등의 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 완전하게 자동화된 웨이퍼 전송 메커니즘은 높은 안정성과 반복 성을 보장합니다. Enviro II 에는 모든 유형의 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 적합한 정교한 진공기가 포함되어 있습니다. 프로세스 균일성과 반복성을 극대화하는 동시에 프로세스 제어 (process control) 및 모니터링 (monitoring) 기능을 제공합니다. 이 기계의 진공 도구 (vacuum tool) 는 저압 펌프와 프로그래밍 된 고진공 밸브를 결합하여 처리량 및 공정 균일성을 높입니다. 자산은 응용프로그램에 맞게 조정할 수 있고, 미립자를 최소화하고, 일관된 프로세스 환경을 유지하기 위해 설계될 수 있습니다. ULVAC Enviro II는 또한 특수 에치 및 건식 공정 응용 분야에 사용하기 위해 고급 냉각수 모델을 갖추고 있습니다. 히터, 쿨러, 가변 주파수 드라이브 (VFD) 와 같은 컴포넌트는 유체 흐름과 냉각 속도를 최대화하여 프로세스 효율성과 안정성을 높이도록 설계되었습니다. Enviro II는 다양한 기판 처리의 요구를 충족할 수 있습니다. 개방형 아키텍처 (open architecture) 를 갖추고 있으며, 신속한 유지 보수 및 수리를 위해 모든 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있는 엔지니어를 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 대화형 그래픽 사용자 인터페이스가 있는 통합 프로세스 컨트롤러 (integrated process controller) 및 진단 소프트웨어 (diagnostic software) 패키지가 포함되어 있습니다. 이러한 유형의 소프트웨어 패키지를 사용하면 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 쉽게 설정, 제어 및 진단할 수 있습니다. 요약하자면, ULVAC Enviro II는 대규모 및 소규모 생산을 위해 설계된 자동 etcher-washing 장비입니다. 고급 진공, 냉각재, 컨트롤러 (controller) 기술이 적용되어 프로세스 효율성 및 신뢰성을 향상시킵니다. 시스템은 개방형으로 구성되어 있으며, 유지 관리 및 진단을 쉽게 액세스할 수 있고, 설치와 작동을 위한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있습니다.
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