판매용 중고 ULVAC Enviro I #9014612

ULVAC Enviro I은 금속, 합금, 때로는 반도체 재료의 빠른 에칭 및 패턴을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 제품은 고급 컨트롤러와 강력한 전동식 스테이지 (Motorized Stage) 를 갖춘 컴팩트하고 사용자 친화적인 장비로, 빠른 속도로 대상 재료를 정확하게 에칭할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 쉽게 유지, 조정할 수 있는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. Enviro I은 (는) 일관된 속도로 큰 목표 영역의 균일 한 에칭을 제공하는 고급 3 상 스피너를 갖추고 있습니다. 10 x 10 cm 공정 챔버 (process chamber) 는 최고의 장비 구성 요소조차도 최대의 증거를 보장하는 반면, 저압 제한 스위치는 최적의 안전을 보장합니다. 이 장치에는 최대 500 ° C의 온도까지 빠른 열 상승을 허용하는 고온 저항 히터 (high-temperent resistive heater) 와 최대 250 Torr의 에칭 프로세스에 이상적인 고압 저항 히터 (high-pressure resistive heater) 도 포함됩니다. 또한 ULVAC Enviro I에는 자동 압력 제어 및 진공 통풍뿐만 아니라 플라즈마 에칭, 기판 클리닝, 사전 에칭 및 깊이 프로파일 링 기능이 있습니다. Enviro I의 직관적인 PC 기반 제어를 통해 모든 기능 및 프로그래밍에 쉽게 액세스할 수 있으며, 따라서 사용자는 즉석에서 프로세스 설정을 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 각 에칭 (etching) 또는 패턴 (patterning) 작업에 대해 자동으로 대상 압력 (target pressure) 까지 챔버 대기 및 압력이 조정되는 지능형 자동 모드를 특징으로합니다. 올인원 (All-in-one) 도구는 유연성과 편의성을 제공하며 웨이퍼를 패턴화하고, 마스크를 기억하거나, 금속 부품을 정확하고 빠르게 에칭하는 데 적합합니다.