판매용 중고 ULVAC CSE-1210 #9055176
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ULVAC CSE-1210은 고급 에치/애쉬 장비입니다. 다용도가 높으며 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 사용할 수 있으므로 다양한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 멀티 스텝 프로그래밍 가능한 프로세스 컨트롤러 (multi-step programmable process controller) 와 같은 고급 기능을 사용하여 정확한 에칭 매개변수를 사용할 수 있습니다. 그것의 디자인은 또한 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. CSE-1210 은 20 리터의 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 가지고 있어 물체의 효율적인 적용 범위를 제공하며 에칭 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 약실은 섭씨 350 도까지 가열되어 가장 민감한 물질의 고온 에칭 (eching) 또는 재 (ashing) 를 허용합니다. 챔버 내부의 압력은 정확한 마노 미터 (manometer) 로 모니터링되어 안정적인 에칭 환경을 보장합니다. ULVAC CSE-1210에는 4 축 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 챔버 내의 물체를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 팔 을 "3D '좌표 에 이르도록" 프로그램' 할 수 있어서 이전 어느 때 보다도 더 세부적 으로 물체 를 에치 '할 수 있다. 이 장치는 또한 직관적 인 터치 스크린 (touch screen) 을 갖추고 있어 운영 프로세스를 단순화하고 분배 정확도를 최적화합니다. 로봇 암 외에도 CSE-1210에는 터보 펌프 (turbo pump) 가 장착되어 1 시간 이내에 10-6 Torr의 압력으로 챔버를 대피시킵니다. 확산 펌프 (diffusion pump) 는 챔버 내에서 안정적인 배경 압력을 허용하며, 황삭 밸브 (roughing valve) 는 에치 프로세스를 시작할 때 빠른 대피를 허용합니다. ULVAC CSE-1210 (ULVAC CSE-1210) 은 다양한 가스와 액체와 호환되므로 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적인 선택입니다. 배기 필터, 냉각 장치, 원격 제어 셔터 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이 모든 구성 요소는 기계를 안전하고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. CSE-1210 은 매우 유능한 etcher/asher 로, 안전하고 정확한 방식으로 다양한 결과를 얻을 수 있습니다. 4 축 로봇 암, 터보 펌프 (turbo pump) 및 직관적 인 터치 스크린은 다양한 응용 분야에 적합한 선택입니다.
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