판매용 중고 ULVAC CSE-1100 #9055175

ULVAC CSE-1100은 3 차원 미세 구조의 빠른 생산을 위해 설계된 고해상도 에처/애셔입니다. 그것의 스핀 에치/애쉬 기술은 MEMS 및 반도체 기판의 에칭, 미세 유체 및 나노 구조의 제작, 두꺼운 필름 마이크로 서킷의 형성과 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수있다. CSE-1100 은 습식 및 건식 에칭/애싱 프로세스를 모두 활용하는 자동 에칭/애싱 장비입니다. "알루미늄 '," 실리콘', "게르마늄 '등 매우 다양 한 기질 을 식각 할 수 있다. ULVAC CSE-1100의 드라이 에칭/애싱 기능은 높은 정밀도 및 반복성으로 3 차원 구조를 형성 할 수 있습니다. CSE-1100에는 두 개의 독립적으로 제어되는 에칭/애싱 시스템이 장착되어 있습니다. 1 차 시스템은 진공 실과 에칭/애싱 음극으로 구성되며, 2 차 장치는 레이저 광원과 회전 애싱 디스크로 구성됩니다. 에칭/애싱 사이클 동안, 기질은 진공 챔버 내부의 음극과 양극 사이에 배치된다. "레이저 '광원 은 기판 을 비추어, 식각/발작 과정 을 시작 하는 데 필요 한" 에너지' 를 공급 한다. 원반 이 회전 하면, 원치 않는 물질 이 점차 제거 되고, 원하는 미세 구조 가 형성 된다. ULVAC CSE-1100은 최대 200cm/h의 에칭/애싱 속도를 제공합니다. 또한, 디지털 정밀 모터 및 센서는 높은 정확성과 반복성을 제공하여 결함이 적은 복잡한 3 차원 구조의 생산을 가능하게합니다. CSE-1100 온보드 컨트롤러는 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스의 일관성을 보장하여 잘 제어되고 재현 가능한 시스템을 제공합니다. 또한, ULVAC CSE-1100에는 통합 진공 센서가 장착되어 있으며, 진공 챔버 내부의 압력 변화를 모니터링하여 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 CSE-1100은 효율적이고 안정적인 방식으로 3 차원 미세 구조를 생산합니다. 고정밀 에칭/애싱 (eching/ashing) 도구를 통해 복잡한 미세 구조를 제작하여 결함이 최소화되고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 자동 에칭/애싱 프로세스 및 온보드 진공 센서는 신뢰할 수 있고 재생 가능한 에칭/애싱 자산을 제공합니다.