판매용 중고 ULVAC CS-300R #293607110

ULVAC CS-300R은 실리콘, 금속 등 다양한 재료를 빠르고, 정확하고 깨끗하게 처리하도록 설계된 에칭/애싱 장비입니다. 반도체 산업, 자동차, 소비자 가전 제품, 전원 공급 장치 등의 분야에서 MEM (Micro-electro-mechanical system) 제작에 이상적입니다. 기계는 공정 챔버, 진공 챔버, 배기 가스 프로세서의 냉각 장치 (cooling unit) 로 구성됩니다. CS-300R의 공정 챔버 (process chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 고성능 에칭 및 애싱 프로세스가 깨끗하고 정확하게 수행되도록 합니다. 이 방은 쉽고, 빠르게 제거, 유지 관리, 교체되도록 설계되었으며, 반복 가능하고, 신뢰할 수있는 프로세스에 이상적입니다. ULVAC CS-300R 진공 시스템은 2 단계 펌핑 장치를 사용하여 챔버 내부에서 최대 2.25 x 10-3 Pa 압력을 달성하며, 더 큰 규모의 기판으로도 정확하고 균일 한 에칭 및 애싱 프로세스를 허용합니다. 이 기계는 또한 더 빠른 펌핑 시간과 더 높은 프로세스 순도를 가능하게합니다. CS-300R 은 온도 범위, 흐름 속도, 압력 등 다양한 매개변수로 처리할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 처리할 수 있습니다. 또한, 첨단 유체 역학적 에칭 기법 으로, 기계 는 "에칭 '기간 을 효과적 으로 줄이고 낭비 를 최소화 할 수 있다. 이러한 기능 외에도, ULVAC CS-300R은 경보 (alarm) 및 자동 종료 (automatic shutdown) 와 같은 고급 안전 기능과 통합되어 프로세스가 안전하게 진행되도록 합니다. 게다가, 이 도구는 사용자가 반복 가능, 정밀한 에칭, 어싱 (ashing) 프로세스를 위해 레시피를 손쉽게 생성, 저장, 수정할 수 있도록 지원하는 내장 레시피 관리 자산을 갖추고 있습니다. 전반적으로 CS-300R은 정확한 제조 요구 사항을 충족하는 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. 유연성과 제어를 통해, 정확한 온도, 압력, 시간을 가진 광범위한 재료를 처리하여 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. 반도체· 자동차· 가전제품· 전원공업 등에 적합하다.