판매용 중고 ULVAC CE-300I #9055173
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ID: 9055173
빈티지: 2004
Etcher, 6"
Load lock type
Power supply: Antenna, 1kW, 13.56MHz
Pumping system: TMP-DRP-APC
ESC hold
Gases: CF4, C3FF8, He, Ar, O2
2004 vintage.
ULVAC CE-300I (ULVAC CE-300I) 는 다양한 산업을위한 진공 과학 기술 제공 업체 인 ULVAC에서 설계 및 제조 한 애셔 (asher) 라고도하는 에처입니다. 첨단 기술 (advanced technology) 과 특히 컴팩트한 양식을 제공하는 정교한 디자인으로, 산업 및 학술 생산에 적합합니다. CE-300I 는 물리적/화학적 프로세스를 활용하여 전자기술 (Electronic Technologies) 과 같은 박막 부품과 정확하고 정확한 기판 물질에서 작동합니다. 다양한 비열적 (non-thermal) 프로세스를 사용하여 정확한 패턴을 만들고, 균등하지 않은 표면을 에치하며, 광범위한 물질을 가진 코트 (coat) 재료를 생성합니다. ULVAC CE-300I의 작동 면적은 약 300mm x 300mm이며 최대 높이는 110mm입니다. 2 개의 독립 전원 공급 장치 (이온 소스와 기판 소스) 가 장착되어 있습니다. 이온 소스는 가변 빔 전류 및 전압과 약 120mm x150mm의 작동 영역을 제공합니다. "이온 '의 근원 은 기판 재료 위 에 선택된 물질 을 스퍼터링 할 수 있게 한다. 제어 소스 (Control Source) 는 다양한 용량 제어 기능과 다양한 프로그램 수준 제어 기능을 제공합니다. 이 애셔에는 자동 도어 잠금 장치 (Automatic Door Locking Mechanism) 및 온도가 높은 모니터 (over-temperature monitor) 를 포함한 여러 가지 안전 도어 잠금 (Door Locking) 메커니즘은 내장된 안전 (Safety) 알람과 결합하여 사용자 및 환경에 대한 최대 안전성을 보장합니다. 또한, 압력 감소 시스템은 오염을 방지하면서 최적의 작업 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. CE-300I 챔버는 청소와 유지 보수가 용이한 2 개의 구획으로 나뉩니다. 주 챔버에는 효율적인 열 전달을 위해 2 개의 고순도 알루미늄 파이프와 1.5 미터의 가열 지르코늄 절연체가 장착되어 있습니다. 또한, asher는 이중 주파수 RF 생성기를 사용하여 기판 재료의 안정적인 작동 및 균일 한 에칭을 보장합니다. ULVAC CE-300I는 3 상 AC 입력, 5-243VAC 범위 및 50/60Hz 주파수를 포함한 다양한 전원 공급 장치에서 작동합니다. 또한 CE-300I 는 다양한 유용한 입력, 출력, 포트를 제공하여 간편한 제어 및 연결 기능을 제공합니다. 간편한 작동이 가능하도록 설계되었으며, 사용이 편리한 직관적인 인터페이스를 통해 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 결론적으로, ULVAC CE-300I는 산업 및 학업 생산을 위해 설계된 고급 에처입니다. 컴팩트한 형태, 정교한 디자인, 효율적인 작동으로, 기판 재료의 정밀 작업 및 코팅에 이상적인 선택입니다.
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