판매용 중고 TRION Sirus T2 #9235359

TRION Sirus T2
제조사
TRION
모델
Sirus T2
ID: 9235359
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Tabletop RIE system, 12" 2009 vintage.
TRION Sirus T2는 다양한 분야에서 정확하고 정확하며 신뢰할 수있는 결과를 만들도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 광범위한 에칭/애셔 및 가스로 작동 할 수 있습니다. 에치 레이트 (etch rate) 를 정확하게 제어하고 영역의 드리프트 또는 변경 없이 고품질 형상을 생성합니다. Sirus T2는 온도, 타이머 및 프로세스 매개변수 설정을 위해 디지털 마이크로 프로세서 제어 시스템 (digital microprocessor-controllem system for temperature, timer 및 process parameters settings) 으로 구동되며, 에칭 및 애싱 프로세스를 정확하게 제어하여 반복 가능하고 안정적인 프로세스를 가능하게합니다. 또한, O2, Ar, N2 또는 기타 화학 가스를 포함한 에칭 및 애싱 공정에 광범위한 화학 물질을 지원할 수 있습니다. TRION Sirus T2에는 고해상도 비전 시스템도 장착되어 있으며 2 개의 웨이퍼 레벨 정렬 시스템이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 챔버 (process chamber) 에 각 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있으며, 에치 팁의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 에치 팁은 최적의 에치 프로파일을 제공하도록 설계된 특수 팁입니다. 이 팁은 함께 작동하여 웨이퍼 칩 (wafer chip) 에 균일 한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공하여 정확하고 정확한 결과를 얻습니다. Sirus T2는 공정 챔버 환기 및 압력 모니터링, ES2 호환 선박 및 시스템 등 여러 안전 기능을 제공합니다. 또한 온도를 모니터링하고 제어하고, 프로세스 피드백을 제공하여 최적의 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 결과 및 최고 품질을 보장합니다. 이 장치에는 고급 소프트웨어 (advanced software) 기능도 탑재되어 있어 Etch Rate, Cycle 수, Time, Type of Gase 를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 레시피 관리 (recipe management), 컨셉 레벨 라이브러리 (concept-level library) 등 다양한 고급 기능을 제공하여 새로운 레시피를 신속하게 개발하고 학습할 수 있습니다. TRION Sirus T2는 정확성, 정확성 및 신뢰성을 위해 설계되었으며 실험실, 대학, 연구 개발 및 생산 시설에 사용하기에 적합합니다. 유연성, 확장성, 신뢰성을 제공하여 가장 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있습니다. 고급 기능으로, 이 에처/애셔는 뛰어난 성능, 정확성 및 신뢰성을 제공합니다.
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