판매용 중고 TRION Phantom III #293750011

TRION Phantom III는 반도체 및 관련 프로세스에 널리 사용되는 etcher/asher입니다. 그것 은 "실리콘 ', 유리, 금속, 사진술사 및 기타 재료 의 작고 넓은 부위 의 정확 하고 믿을 만한 에칭 및 재싱 을 위하여 설계 되었다. 이 장비는 또한 매우 정확한 집중식 이온 빔 (FIB) 밀링을 제공하여 가장 섬세한 표면을 정확하게 처리 할 수 있습니다. Phantom III에는 고가상도, 고속 디지털 스테퍼 모터 및 정확한 Z 단계 모션 컨트롤, 현장에서 입증 된, 빠른 펄스 기술 가스 전달 시스템, 고출력 RF 생성기 및 이중 균형 RF 일치 네트워크. 이를 통해 패스당 최대 100 나노미터까지의 프로세스 속도에서 매우 정확한 에칭/애싱이 가능합니다. TRION Phantom III 장치는 또한 매우 민감한 종점 감지, 자동 레시피 시퀀싱 및 네트워크 지원 PC 제어를 제공합니다. 또한 수명이 긴 2축 짐벌 스테이지, 고성능 FIB 열, 초고화질 (UHV) 펌핑 기능이있는 고급 고진공 챔버 (High Vacuum Chamber) 와 같은 기능을 향상시키는 몇 가지 하드웨어 구성 요소 (옵션) 가 있습니다. 이 확장 된 업그레이드 목록을 통해 기계는 일관된 결과를 가진 도전적인 3 차원 구조에서 교정 에칭/애싱 (calibrated etching/ashing) 을 수행 할 수 있습니다. 팬텀 III (Phantom III) 는 또한 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 사용자에게 추가적인 보호 기능을 제공하는 독특한 고정 도어를 갖추고 있습니다. 또한 데이터 보안을 위한 고급 네트워크 보안 툴 (network security tool) 과 자동화를 위한 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (advanced process control software) 도 제공합니다. 또한, TRION 팬텀 III (Phantom III) 는 서비스 및 업그레이드가 가능하며, 많은 구성 요소를 개별 부품으로 사용할 수 있으므로 수리 또는 업그레이드가 쉬워집니다. 에셋은 또한 자동 샘플러, 볼륨 흐름 컨트롤러 (volumetric flow controller) 및 압력 스위치 (pressure switch) 를 포함한 다양한 가스 전달 시스템 어레이를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 빠르고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 결론적으로, Phantom III etcher/asher는 반도체 및 관련 산업에서 일하는 사람들에게 이상적인 다재다능하고 신뢰할 수있는 모델입니다. 첨단 기능 및 업그레이드 가능한 구성 요소 (Upgradable Component) 는 정확하고 정확한 프로세스와 안전하고 안전한 운영을 위한 최적의 선택입니다.